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题名提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究
被引量：3
- 1
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作者
陈旭南
石建平
康西巧
罗先刚
秦涛
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期323-326,共4页
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基金
国家自然科学基金 (项目编号 :6 9876 0 41)资助项目
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文摘
详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论 ,给出了理论模型 ,进行了模拟计算 .对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果 .研究表明 ,相移滤波能显著提高部分相干成像系统光刻分辨力和增大焦深 ,同时能提高光能利用率 ,有利于提高光刻生产率 ,是一种有效提高光刻分辨力和焦深的波前工程技术 .
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关键词
相移滤波
投影成像光刻系统
分辨力和焦深
光能利用率
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Keywords
Phaseshifting filter
Projection imaging photolithography
Resolution and focal depth
Light energy availability
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名二元计算全息法产生复杂无衍射光束
被引量：3
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作者
杨婧羽
任志君
黄文俊
许富洋
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机构
浙江师范大学浙江省光信息检测与显示技术研究重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期14-21,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.11674288)。
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文摘
无衍射光束是一种能在自由空间稳定传输的光束。近来,一类具有复杂光学形态的无衍射光束被引入,比如马蒂厄光束、抛物光束、非对称贝塞尔光束等。为了产生具有复杂结构的无衍射光束,需要对光波进行复振幅调制,即同时调制光波的振幅和相位。但目前的商用光学调制元件只能调制光波的振幅或相位。本文基于二元计算全息法,编码二维复透过率函数分布,构建了具有复振幅调制功能的二元实振幅非负计算全息图。利用实验室自主研发的投影成像光刻系统,对银盐干板进行曝光处理,经显影、定影处理,将其加工为相应的振幅掩模板,用来产生精确的具有复杂结构的无衍射光束。以无衍射马蒂厄光束为例,采用罗曼型迂回相位编码方法,在全息图每个抽样单元内开一个矩形通光孔径,通过改变通光孔径的面积来对复值光波的振幅进行编码,通过改变通光孔径中心偏离抽样单元中心的距离,来对复值光波的相位进行编码。最终构建了两种产生马蒂厄光束的典型二元实振幅计算全息图,其像素数高达28 000 pixel×28 000 pixel。之后利用加工好的振幅掩模板,准确、方便、高效地产生了的椭圆系数q=10,拓扑荷数m=0与m=1的第一种偶型马蒂厄光束,其他类型的马蒂厄光束可相应产生,这是一种光束形态多样、光束结构复杂的无衍射光束。实验结果证实,采用罗曼型迂回相位编码方法产生具有复杂结构的无衍射光束,有效避免了实验过程中分离的相位调制元件和振幅调制元件之间的对准误差,二元计算全息编码法是一种能用来调控产生复杂结构无衍射光束的新途径。
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关键词
无衍射光束
二元计算全息
投影成像光刻系统
罗曼型迂回相位编码
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Keywords
nondiffractive beams
binary computer-generated holography
projection imaging lithography system
lohmann-type detour phase coding method
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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