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微小等离子体反应器的导出机理研究
被引量：
1
1
作者
王海
童云华
文莉
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期91-96,共6页
提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究。当工作气体为SF6、工作气压为2～9kPa、微孔半径为0.25μm时,F原子最大束流密度在(1.53～5.62)×101...
提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究。当工作气体为SF6、工作气压为2～9kPa、微孔半径为0.25μm时,F原子最大束流密度在(1.53～5.62)×1014cm-3.s-1之间,SF5+最大束流密度在(2.46～7.83)×1016cm-3.s-1之间。工作气压为5kPa时,样品表面处F的平均能量为3.82eV,散射角在-14°～14°之间;SF5+的平均能量为25eV,散射角为-13°～14°。当偏置电压在10～50V之间变化时,SF5+平均能量在52～58eV之间变化。上述F、SF5+密度满足硅基底材料的有效刻蚀需要,验证了扫描刻蚀加工的可行性。
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关键词
扫描
等离子体
刻蚀
加工
微小
等离子体
反应器
导出机制
下载PDF
职称材料
题名
微小等离子体反应器的导出机理研究
被引量：
1
1
作者
王海
童云华
文莉
机构
安徽工程大学机械与汽车工程学院
安徽省先进数控和伺服驱动技术重点实验室
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期91-96,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50605061)
江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室资助(JSNBI200905)
文摘
提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究。当工作气体为SF6、工作气压为2～9kPa、微孔半径为0.25μm时,F原子最大束流密度在(1.53～5.62)×1014cm-3.s-1之间,SF5+最大束流密度在(2.46～7.83)×1016cm-3.s-1之间。工作气压为5kPa时,样品表面处F的平均能量为3.82eV,散射角在-14°～14°之间;SF5+的平均能量为25eV,散射角为-13°～14°。当偏置电压在10～50V之间变化时,SF5+平均能量在52～58eV之间变化。上述F、SF5+密度满足硅基底材料的有效刻蚀需要,验证了扫描刻蚀加工的可行性。
关键词
扫描
等离子体
刻蚀
加工
微小
等离子体
反应器
导出机制
Keywords
Scanning plasma etching
Microplasma reactor
Extraction mechanism
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微小等离子体反应器的导出机理研究
王海
童云华
文莉
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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职称材料
已选择
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