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扫描离子束云纹法 被引量：2
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作者 谢惠民 李标 +1 位作者 尚海霞 戴福隆 《光学技术》 CAS CSCD 2003年第1期23-26,共4页
提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法。对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述。以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行了检验。该方法成功地应用于微电子系统结构在去除SiO2牺牲... 提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法。对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述。以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行了检验。该方法成功地应用于微电子系统结构在去除SiO2牺牲层后的残余变形测量。实验结果证实了该方法的可行性。 展开更多
关键词 扫描离子束云纹法 高频光栅 应变 微电子机械系统 面内变形
原文传递
微电子机械系统(MEMS)面内位移的扫描离子束云纹法实验研究
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作者 谢惠民 戴福隆 +1 位作者 尚海霞 李标 《实验力学》 CSCD 北大核心 2003年第1期12-16,共5页
本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生... 本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量.实验结果表明了该方法的可行性. 展开更多
关键词 扫描离子束云纹法 高频光栅 应变 微电子机械系统 面内变形
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