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平面型InGaAs探测结构中p型杂质的二维扩散行为研究
1
作者
张帅君
李天信
+6 位作者
王文静
李菊柱
邵秀梅
李雪
郑时有
庞越鹏
夏辉
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期262-268,共7页
在平面型InGaAs P-i-N短波红外探测结构中,p型杂质在材料中纵向和横向的扩散是决定pn结位置及其光电性能的主要因素,本文采用扫描电容显微方法(SCM)获得了扩散成结InGaAs/InAlAs像元剖面的二维载流子分布,从而实现对不同扩散条件下pn电...
在平面型InGaAs P-i-N短波红外探测结构中,p型杂质在材料中纵向和横向的扩散是决定pn结位置及其光电性能的主要因素,本文采用扫描电容显微方法(SCM)获得了扩散成结InGaAs/InAlAs像元剖面的二维载流子分布,从而实现对不同扩散条件下pn电场结的精确定位和分析。此外,对于InGaAs/InP探测器,SCM测量揭示了Zn杂质在各功能层中扩散行为的显著差异。在InGaAs吸收区中,Zn的侧向扩散速度是深度方向的3.3倍,远高于其在n-InP帽层中0.67的侧向与深度扩散比,这将对光敏元的边缘电容以及暗电流特性产生影响。
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关键词
扫描
电容
显微
(
scm
)
InGaAs平面型探测器
扩散行为
光电流响应
下载PDF
职称材料
AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)
被引量：
2
2
作者
李永富
唐恒敬
+5 位作者
朱耀明
李淘
殷豪
李天信
李雪
龚海梅
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期401-405,共5页
为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束...
为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流（LBIC）技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.
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关键词
扫描
电容
显微
镜(
scm
)
激光束诱导电流(LBIC)
光生载流子扩散
保护环
INP/INGAAS
下载PDF
职称材料
题名
平面型InGaAs探测结构中p型杂质的二维扩散行为研究
1
作者
张帅君
李天信
王文静
李菊柱
邵秀梅
李雪
郑时有
庞越鹏
夏辉
机构
上海理工大学材料科学与工程学院
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
上海师范大学数理学院
中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期262-268,共7页
基金
国家自然科学基金(11574336,11991063)
中国科学院战略性先导科技专项(XDB43010200)
上海市自然科学基金(18JC1420401,19ZR1465700,14ZR1446200)。
文摘
在平面型InGaAs P-i-N短波红外探测结构中,p型杂质在材料中纵向和横向的扩散是决定pn结位置及其光电性能的主要因素,本文采用扫描电容显微方法(SCM)获得了扩散成结InGaAs/InAlAs像元剖面的二维载流子分布,从而实现对不同扩散条件下pn电场结的精确定位和分析。此外,对于InGaAs/InP探测器,SCM测量揭示了Zn杂质在各功能层中扩散行为的显著差异。在InGaAs吸收区中,Zn的侧向扩散速度是深度方向的3.3倍,远高于其在n-InP帽层中0.67的侧向与深度扩散比,这将对光敏元的边缘电容以及暗电流特性产生影响。
关键词
扫描
电容
显微
(
scm
)
InGaAs平面型探测器
扩散行为
光电流响应
Keywords
Scanning Capacitance Microscopy(
scm
)
planar InGaAs detector
diffusion behavior
photocurrent response
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)
被引量：
2
2
作者
李永富
唐恒敬
朱耀明
李淘
殷豪
李天信
李雪
龚海梅
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院研究生院
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期401-405,共5页
基金
Supported by Key Program of National Science Foundation of China(50632060)
文摘
为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流（LBIC）技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.
关键词
扫描
电容
显微
镜(
scm
)
激光束诱导电流(LBIC)
光生载流子扩散
保护环
INP/INGAAS
Keywords
scanning capacitance microscopy（
scm
）
laser beam induced current（LBIC）
photo-carrier diffusion
guard-ring
InP/InGaAs
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
平面型InGaAs探测结构中p型杂质的二维扩散行为研究
张帅君
李天信
王文静
李菊柱
邵秀梅
李雪
郑时有
庞越鹏
夏辉
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
2
AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)
李永富
唐恒敬
朱耀明
李淘
殷豪
李天信
李雪
龚海梅
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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职称材料
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