铝合金喷涂Y_(2)O_(3)和Ni混合粉扫描电子束表面合金化的研究

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作者 王荣 姜红飞 +2 位作者 魏德强 孟城功 王启超 《热加工工艺》 北大核心 2023年第24期146-151,共6页

扫描电子束表面合金化技术可改善铝合金表面性能。研究采用等离子热喷涂技术将不同含量的Y_(2)O_(3)与Ni混合粉末涂覆到6061铝合金表面,利用扫描电子束进行表面合金化处理。研究了表面合金化后强化层的组织形态、相结构和硬度的变化规律... 扫描电子束表面合金化技术可改善铝合金表面性能。研究采用等离子热喷涂技术将不同含量的Y_(2)O_(3)与Ni混合粉末涂覆到6061铝合金表面,利用扫描电子束进行表面合金化处理。研究了表面合金化后强化层的组织形态、相结构和硬度的变化规律,探讨了稀土Y_(2)O_(3)含量与电子束工艺参数对强化层组织和性能的影响。结果表明,电子束表面合金化处理,其表面可分为合金化区、热影响区和基体区。合金化区的显微组织主要由YAl_(3)、AlNiY和Ni_(17)Y_(2)等相组成,最高硬度为396 HV0.2,是基体的6倍;热影响区主要由α-Al固溶体和Ni-Al化合物相组成,最高硬度为260 HV0.2,是基体的4倍;基体的相结构主要为α-Al和Mg_(2)Si强化相组成。随着稀土Y_(2)O_(3)含量的增加,合金层组织晶粒得到细化,硬度得到提升。稀土Y_(2)O_(3)含量为5%,组织细化程度与硬度提升最明显。强化层显微硬度随束流的增加先增加后减少,随移动速度的增加而减少,当电子束束流为10 mA、移动速度为10 mm/s,强化层组织晶粒高度细化,硬度提升显著。 展开更多

关键词 扫描电子束 Y_(2)O_(3) 铝合金 合金化

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扫描电子束微熔抛光临界功率密度规律及实验研究 被引量：3

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作者 李新凯 王荣 +1 位作者 王启超 董玉健 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期386-393,共8页

目的明确扫描电子束改善45钢表面粗糙度工艺方法以及电子束抛光工艺参数的内在联系。方法以热轧空冷45钢为研究对象,通过设定可编程数字信号发生器的参数,实现扫描电子束环状下束的方式,对45钢试样进行微熔抛光处理,搭建45钢表面微熔状... 目的明确扫描电子束改善45钢表面粗糙度工艺方法以及电子束抛光工艺参数的内在联系。方法以热轧空冷45钢为研究对象,通过设定可编程数字信号发生器的参数,实现扫描电子束环状下束的方式,对45钢试样进行微熔抛光处理,搭建45钢表面微熔状态下电子束功率与熔化所需功率密度的临界平衡关系,并采用数值模拟的方法,研究不同工艺参数下试样温度场的变化规律。结果 45钢微熔状态下,电子束束流与工件移动速度呈非线性关系。当电子束束流为9.36 mA,工件移动速度为11 mm/s时,45钢表面原始铣削划痕完全消失,且光洁度良好,表面粗糙度由2.0μm降至0.43μm,降低幅度约为78.5%。部分参数下,表面会出现熔坑、褶皱现象。这是因为单个扫描周期过长,能量积累,导致表层过度熔融。4#试样经电子束处理后,铣削划痕仍旧可见,这是因为单个扫描周期仅为3.6 s,表层能量流失过快,导致熔融不全的现象。结论扫描电子束处理45钢表面,可显著降低试样表面粗糙度。通过调节工艺参数,可控制电子能量密度和散热速率,减少熔坑、褶皱的出现。 展开更多

关键词 扫描电子束 抛光 45钢 粗糙度 工艺参数 熔坑

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扫描电子束铝合金表面处理温度场分析与实验验证 被引量：3

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作者 魏德强 孙培新 王荣 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期152-156,共5页

根据扫描电子束焊机的实际工作环境,建立了扫描电子束铝合金表面处理温度场三维有限元分析模型,分析了试样经电子束照射后表面熔池的形态及组织变化,分析过程中,考虑了试样表面的热辐射和材料的相变,并用实验验证了仿真结果。讨论了束... 根据扫描电子束焊机的实际工作环境,建立了扫描电子束铝合金表面处理温度场三维有限元分析模型,分析了试样经电子束照射后表面熔池的形态及组织变化,分析过程中,考虑了试样表面的热辐射和材料的相变,并用实验验证了仿真结果。讨论了束流、束斑直径和扫描半径对扫描电子束表面处理温度场的影响。结果表明:在其它参数不变的情况下,随着束流的增大,试样表面的最高温度基本上呈线性增高,熔池的宽度和深度也有所增大;随着束斑直径的增加,试样表面的最高温度呈线性下降,熔池的深度也略有减小,而宽度则快速地增大;随着扫描半径的增加,最高温度、熔池的宽度和深度均急剧下降。 展开更多

关键词 扫描电子束 铝合金表面处理 温度场分布

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扫描电子束表面改性对40Cr钢组织和性能的影响 被引量：1

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作者 王荣 龚玉辉 +1 位作者 吴辉 魏德强 《热加工工艺》 北大核心 2022年第20期109-113,117,共6页

电子束是一种新型载能束表面改性技术,可改善材料表面的组织和性能。采用连续扫描电子束方式对40Cr钢表面进行改性处理,研究不同电子束束流对40Cr钢表面显微组织及力学性能的影响规律。结果表明:经扫描电子束表面改性处理,试样横截面形... 电子束是一种新型载能束表面改性技术,可改善材料表面的组织和性能。采用连续扫描电子束方式对40Cr钢表面进行改性处理,研究不同电子束束流对40Cr钢表面显微组织及力学性能的影响规律。结果表明:经扫描电子束表面改性处理,试样横截面形貌可分为熔融层、热影响区和基体3个区域。熔融层和热影响区组织主要由针状马氏体和板条马氏体组成,晶粒细小均匀。束流为4 mA,试样表面粗糙度由2.306μm降到1.469μm,表面粗糙度随着束流的增加先减小后增大;当束流为6 mA时,表面显微硬度高达756.5 HV,是基体硬度的2.44倍。随束流的增大,表面显微硬度呈非线性增加。 展开更多

关键词 扫描电子束 40Cr 显微组织 表面改性 力学性能

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45钢扫描电子束不同倾斜角度的斜面表面抛光与改性的研究 被引量：2

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作者 魏德强 夏腾辉 +1 位作者 李新凯 郭锦岩 《热加工工艺》 北大核心 2021年第12期109-112,共4页

针对表面具有不同角度斜面类的模具产品,工作中易出现磨损失效和疲劳失效等。使用常规抛光效率低。采用连续型扫描电子束斜面抛光技术,研究了倾斜角度对表面抛光与力学性能的影响规律。结果表明,改性层的显微组织为针状马氏体和板条马... 针对表面具有不同角度斜面类的模具产品,工作中易出现磨损失效和疲劳失效等。使用常规抛光效率低。采用连续型扫描电子束斜面抛光技术,研究了倾斜角度对表面抛光与力学性能的影响规律。结果表明,改性层的显微组织为针状马氏体和板条马氏体混合相的组织。在斜面倾斜角度为0°~15°,且束流小于8mA时,表面粗糙度数值减小。此外,在改性层上,随着倾斜角度和束流的增加,其显微硬度和耐磨性反而下降,但仍优于未处理的表面。 展开更多

关键词 斜面 扫描电子束 表面抛光 力学性能

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40CrNiMoA钢扫描电子束表面抛光改性的研究 被引量：2

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作者 王荣 孟城功 +2 位作者 魏德强 俞杰 姜红飞 《热加工工艺》 北大核心 2021年第16期75-80,共6页

为改善40CrNiMoA合金钢的表面性能,对其表面进行扫描电子束抛光改性处理。研究了电子束工艺参数对40CrNiMoA钢表面性能的影响。结果表明:扫描电子束处理后,总体形貌由熔融区、热影响区和基体组成,且显微硬度随着距表面距离的增加,呈先... 为改善40CrNiMoA合金钢的表面性能,对其表面进行扫描电子束抛光改性处理。研究了电子束工艺参数对40CrNiMoA钢表面性能的影响。结果表明:扫描电子束处理后,总体形貌由熔融区、热影响区和基体组成,且显微硬度随着距表面距离的增加,呈先增加后降低的趋势。熔融区的微观组织主要由晶粒粗大的马氏体组成;热影响区的微观组织主要由细小的马氏体组成;基体的微观组织主要为回火索氏体。经扫描电子束处理后,材料表面粗糙度随扫描电子束束流的增大先降低后升高,表面粗糙度最低值为0.889μm;随扫描速度的增大,材料表面粗糙度先升高后降低,最低值为0.708μm。改性层深度随扫描电子束束流的增大而不断增大,随扫描电子束移动速度的增大而逐渐减小。 展开更多

关键词 扫描电子束 表面抛光 显微硬度 表面粗糙度

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立方晶格金属扫描电子束抛光处理下表面建模与试验研究 被引量：1

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作者 李新凯 王荣 +2 位作者 魏德强 董玉健 黄宇燕 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期212-219,共8页

目的探究扫描电子束作用下立方晶格金属表面凸起的温度随扫描时间的变化规律。方法以铣削加工后的立方晶格金属试样为研究对象,通过数值模拟的方法剖析表面凸起形状和一维热传导模型,采用理论和抛光试验相结合的方法分析电子束能量密度... 目的探究扫描电子束作用下立方晶格金属表面凸起的温度随扫描时间的变化规律。方法以铣削加工后的立方晶格金属试样为研究对象,通过数值模拟的方法剖析表面凸起形状和一维热传导模型,采用理论和抛光试验相结合的方法分析电子束能量密度、电子束作用时间与温度之间的函数关系,并通过仿真软件建立不同材料属性、凸起形状影响下的温升曲线。结果铣削表面的凸起形状可简化为圆锥形、半椭圆形和半球形,表面凸起的温度受到电子束能量密度、电子束作用时间以及起伏形貌参数比三个因素影响。凸起温升速率与材料导热性能正相关,当起伏的温度高于熔点200 K时,45钢与AZ91D镁合金的表面粗糙度均有所降低。起伏形状的温升速率与形状比正相关,且圆锥形凸起经三角函数拟合后的起伏温升曲线和形状比数值相似度较高。结论扫描电子束抛光处理立方晶格金属表面时,通过建立凸起的温度变化曲线,可指导电子束工艺参数选取,预测表面形貌变化。 展开更多

关键词 立方晶格金属 扫描电子束 抛光 起伏 能量密度 凸起 粗糙度

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扫描电子束表面抛光不同倾斜角度的斜面温度场分析

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作者 魏德强 郭锦岩 +1 位作者 夏腾辉 李新凯 《热加工工艺》 北大核心 2022年第4期100-105,共6页

为获得综合性能良好的模具产品,研究不同倾斜角度斜面的扫描电子束热抛光技术是非常必要的。利用有限元软件模拟45钢表面扫描电子束抛光的热作用过程,研究其温度场的分布规律。讨论束源功率、工件移动速度和扫描频率等工艺参数对温度场... 为获得综合性能良好的模具产品,研究不同倾斜角度斜面的扫描电子束热抛光技术是非常必要的。利用有限元软件模拟45钢表面扫描电子束抛光的热作用过程,研究其温度场的分布规律。讨论束源功率、工件移动速度和扫描频率等工艺参数对温度场的影响。结果表明:在一定的范围内,最高温度与束源功率之间呈线性正相关。在功率相同的情况下,倾斜角度越大,最大温度梯度和最大温度梯度x、y、z分量也越低。当功率为540 W时,倾斜角度为0°的工件表面最大温度梯度约是倾斜角为5°的工件表面最大温度梯度的1.5倍。随着倾斜角度和工件移动速度的增加,材料表面的最大温度梯度和最大温度梯度x、y、z轴的分量呈现出非线性的降低。不同倾斜角度下,扫描频率过高会导致材料表面的温度梯度以及温度梯度x、y、z轴分量偏高。 展开更多

关键词 扫描电子束 抛光 温度场

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扫描电子束能量峰值对表面温度场的影响规律

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作者 李新凯 王荣 +2 位作者 胡露瑶 任旭隆 王喜社 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期306-313,共8页

目的 明确扫描电子束环状下束方式下能量分布数学模型以及能量峰值系数对45钢表面温度场的影响规律。方法 基于高斯热源模型,引入能量峰值位置参数,演算扫描电子束环状下束方式下能量分布的数学模型,利用COMSOL软件,模拟扫描带热循环曲... 目的 明确扫描电子束环状下束方式下能量分布数学模型以及能量峰值系数对45钢表面温度场的影响规律。方法 基于高斯热源模型,引入能量峰值位置参数,演算扫描电子束环状下束方式下能量分布的数学模型,利用COMSOL软件,模拟扫描带热循环曲线与温度场。结果 针对环状下束方式下电子束热源模型进行修订,电子束能量分布沿中心线对称分布,表层能量分布与偏转角度和能量峰值参数相关,能量峰值参数在0~1内,数值越大c点第一、二能量峰值及其差值越大,扫描带纵向点温差越小,热循环曲线间距越小;电子束下束与收束阶段,束斑温度变化较大,而扫描中期温度较为稳定,能量峰值参数越大,45钢表层高温区域半径越大,最高温度也有所增加;45钢经不同能量峰值系数作用后,扫描带与亚高温带区域的宽度有所不同。结论 能量峰值参数对环状电子束能量分布有较大影响,ξ=1时束斑在表层能量梯度最小,有利于大面域电子束表面改性下的能量均匀分布。 展开更多

关键词 扫描电子束 能量 温度场 热源 表面改性

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扫描电子显微镜在食品工业的应用

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作者 钱和 张伟国 《江苏食品与发酵》 1989年第2期11-15,共5页

一、前言早在1935年,Knoll 在设计透射电子显微镜的同时就提出了扫描电子显微镜(以下简称 SEM)的原理及设计思想,1940年英国剑桥大学首先试制成功了 SEM,但由于成像的分异率差,照相时间过长(需几小时),实用价值不大。后来随着电子工业... 一、前言早在1935年,Knoll 在设计透射电子显微镜的同时就提出了扫描电子显微镜(以下简称 SEM)的原理及设计思想,1940年英国剑桥大学首先试制成功了 SEM,但由于成像的分异率差,照相时间过长(需几小时),实用价值不大。后来随着电子工业的发展, 展开更多

关键词 食品工业 食品样品 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 扫描电子束 样品室 超微结构 二次电子 制作方法 阴极射线管

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电子-离子双束纳米工作站

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作者 马向国 顾文琪 韩立 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第B12期70-72,共3页

现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求。电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以切割、研... 现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求。电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以切割、研磨样品材料和沉积特定的材料,用它可以获得以前无法得到的样品信息。该工作站为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具。 展开更多

关键词 扫描电子束 聚焦离子束 微电子技术

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扫描电子束30CrMnSi表面Fe-Al合金化工艺参数的确定

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作者 王荣 黄嘉悦 +1 位作者 魏德强 齐文亮 《桂林电子科技大学学报》 2020年第6期516-522,共7页

为优化合金粉末配比与电子束工艺参数,利用正交试验法与极差分析法对30CrMnSi钢进行扫描电子束表面Fe-Al合金化。结果表明,合金化后截面显微组织由合金层、热影响区和基体组成,合金层由Fe-Al合金相和马氏体组成,热影响区主要为马氏体,... 为优化合金粉末配比与电子束工艺参数,利用正交试验法与极差分析法对30CrMnSi钢进行扫描电子束表面Fe-Al合金化。结果表明,合金化后截面显微组织由合金层、热影响区和基体组成,合金层由Fe-Al合金相和马氏体组成,热影响区主要为马氏体,基体为索氏体。优化方案为Fe-Al粉末配比25∶75,束流大小8 mA,工件移动速度360 mm/min,最终获得的表面硬度为695 HV,是基体硬度的2.6倍,磨损失质量为0.0009 g。 展开更多

关键词 扫描电子束 表面合金化 正交试验法 极差分析法 Fe-Al合金化

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扫描电子束曝光设备的发展

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作者 那兆风 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1992年第2期2-9,共8页

本文综述近年来,随着超大规模集成电路器件和毫微米器件的迅速发展,国外在高斯圆形和可变成形电子束曝光设备的突出进展。

关键词 扫描电子束 曝光设备 发展

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生活万花筒

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《公安月刊》 1994年第3期34-35,共2页

生活万花筒配食禁忌１、白薯与柿子不能同吃。白薯吃多了，会在人的胃肠道里产生大量的盐酸，再吃柿子，柿子在胃酸的作用下产生沉淀，沉淀物积结在一起，形成不溶于水的结块，会在胃里造成结故石病。２、萝卜与人参不要同服。由于有“... 生活万花筒配食禁忌１、白薯与柿子不能同吃。白薯吃多了，会在人的胃肠道里产生大量的盐酸，再吃柿子，柿子在胃酸的作用下产生沉淀，沉淀物积结在一起，形成不溶于水的结块，会在胃里造成结故石病。２、萝卜与人参不要同服。由于有“十月萝卜小人参”之说，因此有人认为... 展开更多

关键词 荧光屏 巧克力 水洗毛 人参 萝卜 空中分解 光学性能 小葱拌豆腐 药理作用 扫描电子束

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扫描电子束表面改性过程温度场的有限元分析

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作者 王荣 孙培新 魏德强 《装备制造技术》 2010年第1期43-44,共2页

根据热传导理论和扫描电子束焊机的实际工作状态,模拟了扫描电子束表面改性过程的温度分布。采用六面体划分网格和四面体划分网格两种模式,来模拟改性过程的温度变化,并比较了两种模式下的温度分布。结果表明:六面体划分网格和四面体划... 根据热传导理论和扫描电子束焊机的实际工作状态,模拟了扫描电子束表面改性过程的温度分布。采用六面体划分网格和四面体划分网格两种模式,来模拟改性过程的温度变化,并比较了两种模式下的温度分布。结果表明:六面体划分网格和四面体划分网格两种模式下的温度分布基本相似,而采用六面体划分网格的模型的计算效率较高。 展开更多

关键词 扫描电子束 表面改性 温度分布

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电子束刻蚀超导膜的实验研究

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作者 林世昌 张燕生 +1 位作者 柴璋 李碧钦 《电子科学学刊》 CSCD 1995年第5期553-556,共4页

本文论述了扫描电子束对YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。

关键词 超导膜 刻蚀 材料改性 扫描电子束

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无掩模光刻技术研究 被引量：3

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作者 蒋文波 胡松 《微细加工技术》 2008年第4期1-3,64,共4页

介绍了无掩模光刻技术的现状和存在的问题,并对几种常见的无掩模光刻技术进行了详细的对比分析。研究表明,扫描电子束光刻具有极高的分辨率,但是生产效率较低;波带片阵列光刻技术已经在理论和实验上取得了广泛的成果,在保持无掩模光刻... 介绍了无掩模光刻技术的现状和存在的问题,并对几种常见的无掩模光刻技术进行了详细的对比分析。研究表明,扫描电子束光刻具有极高的分辨率,但是生产效率较低;波带片阵列光刻技术已经在理论和实验上取得了广泛的成果,在保持无掩模光刻技术高分辨力的同时,对电子束的低效率将是一种补充,是一种很有潜力的用于制作掩模版的光刻技术。 展开更多

关键词 无掩模光刻 扫描电子束光刻 波带片阵列光刻 掩模版

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扫描电子束钎焊温度场数值分析 被引量：4

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作者 李少青 梁智 +2 位作者 芦凤桂 姚舜 徐培全 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期26-29,62,共5页

根据不锈钢毛细管板结构的钎焊特点,建立了扫描电子束钎焊温度场三维有限元分析模型。有限元计算结果与试验结果一致,证明所建立的温度场模型是合理的。利用该模型预测了束斑直径、扫描半径和束流三个工艺参数对扫描电子束钎焊温度场的... 根据不锈钢毛细管板结构的钎焊特点,建立了扫描电子束钎焊温度场三维有限元分析模型。有限元计算结果与试验结果一致,证明所建立的温度场模型是合理的。利用该模型预测了束斑直径、扫描半径和束流三个工艺参数对扫描电子束钎焊温度场的影响。结果表明:大束斑直径、大扫描半径和小束流的扫描方式可以获得钎焊所需的局部均匀的温度场。利用有限元分析得到的优化工艺参数对毛细管板结构件进行了扫描电子束钎焊试验,获得了良好的钎焊接头。 展开更多

关键词 扫描电子束钎焊 温度场 有限元

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基于Visual Basic 6.0的焊缝曲线离散软件设计 被引量：2

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作者 韦寿祺 何磊 +1 位作者 杨建湘 郭华艳 《电焊机》 北大核心 2012年第10期19-21,共3页

针对磁扫描电子束焊接方法中,手工计算焊缝曲线离散点坐标效率低、计算结果不准确等问题,利用Visual Basic 6.0开发了焊缝曲线离散软件,实现了焊缝曲线的快速离散,快速绘制焊缝曲线离散图,并能实现txt文本输出离散点坐标值。研究结果和... 针对磁扫描电子束焊接方法中,手工计算焊缝曲线离散点坐标效率低、计算结果不准确等问题,利用Visual Basic 6.0开发了焊缝曲线离散软件,实现了焊缝曲线的快速离散,快速绘制焊缝曲线离散图,并能实现txt文本输出离散点坐标值。研究结果和应用分析表明,基于Visual Basic 6.0所设计的焊缝曲线离散软件界面友好、计算结果准确,软件达到工程使用要求,所采用的方法和技术对开发其他焊接专用软件具有一定的参考价值。 展开更多

关键词 磁扫描电子束焊接 焊缝曲线离散软件 VISUAL Basic 6.0

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电子束曝光机背散射电子检测电路的研究

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作者 李晨菲 薛虹 《微细加工技术》 EI 2005年第2期15-19,共5页

概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述。同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图,所设计的多级滤波电路和PCB板... 概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述。同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图,所设计的多级滤波电路和PCB板的布线方式实现了对模拟信号处理电路噪声的抑制,从而得到了清晰的专用对准标记形貌图像。 展开更多

关键词 扫描电子束曝光机 背散射检测器 模拟电路 噪声

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