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题名飞秒激光双光子聚合加工微纳结构
被引量：6
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作者
孙树峰
王萍萍
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机构
青岛理工大学机械工程学院
青岛理工大学计算机工程学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第12期56-60,共5页
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基金
国家自然科学基金(51775289)
山东省重大关键技术项目(2016ZDJS02A15)
泰山学者工程专项经费(ts201511038)
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文摘
针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明:随着激光功率的降低,单个固化点的尺寸减小,加工分辨率提高;扫描步距减小,所加工工件的表面粗糙度数值减小,但加工效率降低。基于CAD软件设计出微米墙和纳米线构成的三维微纳结构,利用飞秒激光双光子聚合加工得到该三维微纳结构实物,通过优化工艺参数加工出直径小于100 nm的纳米线,从而证明飞秒激光双光子聚合加工方法为微/纳器件的制造提供了一种有效方法。
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关键词
飞秒激光
双光子聚合加工
微纳结构
扫描步距
表面粗糙度
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Keywords
femtosecond laser
two-photon photopolymerization
micro/nano structure
scanning step
surface roughness
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名共聚焦激光扫描显微镜扫描步距与三维重建质量的关系
被引量：2
- 2
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作者
陈燕
张向阳
程蓓
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机构
武汉大学医学院人体解剖与组织胚胎学系
武汉大学人民医院骨外科
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出处
《医学新知》
CAS
2004年第2期105-107,F004,共4页
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文摘
目的 探讨用共聚焦激光扫描显微镜对厚样本进行光学断层时 ,扫描步距对三维重建的质量影响。方法 用醛处理法诱导大鼠主动脉弹性纤维产生强自发荧光 ,在共聚焦激光扫描显微镜下对主动脉壁进行全层光学断层。分析扫描步距等参数变化对内弹性膜构筑三维重建质量的影响。结果 ①探测针孔直径等于 1个爱俐斑单位且满足离开焦点 1/ 2Z 轴分辨率距离时 ,焦平面最强荧光信号减弱 5 0 % ,此条件下获得的二维光学切片分辨率和信息的完整性达最佳平衡。②在上述条件下 ,扫描步距等于Z 轴分辨率时 ,重建结构信息完整 ;扫描步距小于Z 轴分辨率时 ,原位重建结构的信号被人为加强 ,旋转重建结构出现重影 ;扫描步距大于Z 轴分辨率时 ,重建结构出现出现信息损失。结论 以Z轴分辨率为扫描步距进行光学断层和重建 ,可获得分辨率、信息完整性和信息不重叠性达最佳三维重建效果。
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关键词
共聚焦激光扫描显微镜
扫描步距
三维重建
主动脉
光学切片
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Keywords
Confocal laser scanning fluorescent microscopy
Scanning step
Three-dimensional reconstruction
Aorta
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名共聚焦激光扫描显微镜对厚样本光学断层及其三维重建
被引量：3
- 3
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作者
陈燕
宋健
汪浩
程蓓
潘伯群
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机构
武汉大学医学院人体解剖与组织胚胎学系
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出处
《解剖学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期188-191,i005,共5页
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文摘
目的:探讨共聚焦系统各参数对厚样本光学断层、三维重建的影响。方法:用共聚焦系统对醛诱导后的大鼠主动脉作光学断层。分析激光强度、探测针孔直径、扫描步距等参数对内弹性膜三维重建的影响。结果和结论:(1)针孔为1Airy单位,调整激光强度以满足离开焦点1/2Z-轴分辨率距离时,焦平面最强荧光信号减弱50%,此条件下获得的光学切片分辨率和信息完整性达最佳平衡,切片厚度可经验地定视为等于系统Z轴分辨率。(2)在上述条件下,扫描步距为Z轴分辨率时,重建结构完整。(3)当扫描步距不变,针孔小于1Airy单位时,重建结构部分缺损;针孔大1Airy单位时,重建结构模糊。(4)样本经透明处理后,断层深度可增大4倍。
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关键词
共聚焦激光扫描显微镜
三维重建
光学断层
样本
扫描步距
分辨率
内弹性膜
光学切片
切片厚度
结构完整
结构模糊
针孔
系统
主动脉
光信号
强度
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Keywords
confocal laser scanning fluorescence microscopy
optic section
three-dimensional reconstruction
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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