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真空环境中多场耦合对Au/Cu/Si薄膜界面结构的影响 被引量:2
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作者 严楷 曹江利 +3 位作者 姚文清 严谨 李展平 朱永法 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期766-770,共5页
采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明:环境温度的升... 采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明:环境温度的升高,使薄膜内缺陷增加,为Cu原子的扩散提供了更多的扩散通道;紫外辐照产生了等同的热效应,加剧了Cu原子在Au层中的扩散;微氧的存在诱导了Cu原子的扩散。三种因素协同作用下,诱导迁移扩散机制在室温下形成,并于处理温度达到100℃后趋于稳定。 展开更多
关键词 薄膜 扫描俄歇探针 真空环境 紫外辐照 迁移扩散
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扫描俄歇微探针系统的功能扩展与升级改造 被引量:1
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作者 姚文清 叶小燕 +1 位作者 朱永法 曹立礼 《实验技术与管理》 CAS 2000年第6期13-16,共4页
随着科学技术的飞速发展,对科学仪器提出了越来越多的新要求,对于80年代购入的大型分析仪器-扫描俄歇微探针,原配备的计算机已不能满足当前科技发展的需要。计算机改造问题迫在眉睫,本食品组根据自身可编写配套计算机软件的条件... 随着科学技术的飞速发展,对科学仪器提出了越来越多的新要求,对于80年代购入的大型分析仪器-扫描俄歇微探针,原配备的计算机已不能满足当前科技发展的需要。计算机改造问题迫在眉睫,本食品组根据自身可编写配套计算机软件的条件,结合食品公司维修站设计在本校,维修方便的优势。对1984年购入的扫描俄歇微探针计算机系统进行升级改造成功,填补了该项国内空白。扩大了清华大学在大型精密仪器功能扩展与升级改造方面的影响力,并将改造后的研究成果应用于教学、科研之中,取得了突出成果,为扩大我国在纳米材料研究领域的影响。提高清华大学在国际上的学术声誉作出了重要贡献。 展开更多
关键词 扫描俄歇探针 计算机系统 功能扩展 纳米材料
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铝—电极孔界面接触电阻大的分析
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作者 陈明华 范捷 +1 位作者 王继华 成巨华 《微电子技术》 1995年第2期42-48,共7页
关键词 铝-电极孔界面 接触电阻 分析 扫描俄歇探针
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用SAM对外引线沾污引起器件失效的研究
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作者 陈明华 任雨 殷勤智 《微电子技术》 1999年第6期39-44,共6页
本文主要介绍了以扫描俄歇微探针为手段,对由于器件外引线受污染引起的失效进行分析。运用电化学理论,探讨了由此产生的失效机理,并就电化学反应条件对器件失效成因的影响进行了讨论。
关键词 扫描俄歇探针 沾污 失效
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电气和电子工程用材料科学
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《中国无线电电子学文摘》 1997年第6期2-4,共3页
关键词 功能材料 材料科学 形状记忆效应 形状记忆合金 电子显镜分析 上海交通大学 热机械循环 国家重点实验室 金刚石 扫描俄歇探针
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可靠性工程与环境工程
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《电子科技文摘》 2000年第5期4-4,共1页
0007238用 SAM 对外引线沾污引起器件失效的研究[刊]/陈明华//微电子技术.—1999,27(6).—39-44(E)本文主要介绍了以扫描俄歇微探针为手段,对由于器件外引线受污染引起的失效进行分析。运用电化学理论,探讨了由此产生的失效机理,并就电... 0007238用 SAM 对外引线沾污引起器件失效的研究[刊]/陈明华//微电子技术.—1999,27(6).—39-44(E)本文主要介绍了以扫描俄歇微探针为手段,对由于器件外引线受污染引起的失效进行分析。运用电化学理论,探讨了由此产生的失效机理,并就电化学反应条件对器件失效成因的影响进行了讨论。 展开更多
关键词 可靠性工程 环境工程 器件失效 扫描俄歇探针 外引线 电子技术 失效机理 电化学 化学理论 反应条件
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