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题名扩散炉智能控制系统的设计和应用
被引量：6
- 1
-
-
作者
刘艳
张天开
于春风
罗贤东
-
机构
青岛理工大学计算机工程学院
-
出处
《电气传动》
北大核心
2008年第1期39-43,共5页
-
文摘
针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状,提出了一种以PLC为核心的扩散炉智能控制系统。该系统将模糊控制算法引入传统的扩散炉控制系统,利用模糊控制规则自适应地在线对量化因子进行修改。应用结果表明:该系统有效地实现了对多工位扩散炉温度工艺曲线和辅助工艺的自动控制,提高了温度控制精度以及工作效率。
-
关键词
PLC
温度控制
模糊控制
扩散炉
-
Keywords
PLC
temperature control
fuzzy control
fritting furnace
-
分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名软着陆洁净闭管扩散炉研制
被引量：5
- 2
-
-
作者
刘良玉
彭志坚
-
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
-
出处
《电子工业专用设备》
2010年第2期39-42,共4页
-
文摘
介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉,着重介绍了设备结构组成及性能,并给出了工艺结果说明设备性能达到国内领先水平。
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关键词
软着陆
闭管扩散
扩散炉
-
Keywords
Soft-landing
Closure tube diffusion
Diffusion furnace
-
分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名扩散炉计算机自动控制研究
被引量：4
- 3
-
-
作者
朱宇
-
机构
西安科技学院计算机系
-
出处
《工矿自动化》
北大核心
2002年第6期16-18,共3页
-
文摘
分析了扩散炉直接控制和两级计算机控制方案的特点 ,介绍了两种控制的具体方法 ,通过利用目前先进的计算机硬件和软件的实例 。
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关键词
扩散炉
自动控制
计算机
集成电路
半导体器件
-
Keywords
diffuse stove, automatic control, computer, research
-
分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TP273.
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名多路高精度扩散炉温度控制系统的设计
被引量：4
- 4
-
-
作者
张瀚文
张博
杜岩
李栋
孟国营
-
机构
中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院
-
出处
《微型机与应用》
2013年第17期83-85,88,共4页
-
文摘
针对传统的扩散炉温度控制系统的精度低、生产工艺控制能力差的现状,设计实现了扩散炉多路高精度温度检测控制系统。系统采用三路热电偶采集扩散炉内温度值并通过基于Smith预估的PID控制,控制三组加热装置的启停,以达到对炉温的控制,控制精度可达1‰,并采用液晶显示模块和按键组成人机交互界面。
-
关键词
单片机
扩散炉
温度控制
热电偶
SMITH预估器
-
Keywords
single chip microcomputer
diffusion furnace
temperature control
thermocouple
smith predictive algorithm
-
分类号
TP271
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名应用MBTC温控系统实现对扩散炉的先进工艺要求
被引量：2
- 5
-
-
作者
李彦斌
-
机构
布鲁克斯自动化机械股份有限公司
-
出处
《电子工业专用设备》
2004年第3期60-63,共4页
-
文摘
说明了如何设计、开发及应用于扩散炉之MBTC温控系统以满足先进工艺需求。MBTC温控系统是由搭配H∞多变数控制设计法建构一模型表示温度与加热丝功率化的关系,以取代传统PID控制系统,并可提供更优异的温度控制、生产效率、工艺质量与投资回收率。
-
关键词
扩散
扩散炉
温度控制
-
Keywords
Diffusion
Furnace
Temperature control
-
分类号
TF860.1
[冶金工程—有色金属冶金]
-
-
题名基于.NET平台的扩散炉中控系统设计和实现
被引量：1
- 6
-
-
作者
彭浩
花奇
-
机构
湖南红太阳光电科技有限公司
-
出处
《工业控制计算机》
2022年第6期20-22,25,共4页
-
文摘
随着光伏行业的快速发展,企业工厂对设备的管理需求越来越多。介绍了一种基于.NET平台的扩散炉中控系统。该系统利用.NET平台提供的编程资源,通过Socket通讯技术和文件共享技术实现了动态操作客户端、显示设备工况、监控报警状态等丰富的功能,大大减少了操作员的工作量,提高了工作效率。实际应用表明,该套中控系统界面友好、操作便捷、稳定性好,可有效地统一管理车间的多台扩散炉设备。此外,该系统具备一定的兼容性,通过少量的修改,可快速应用于多台相同设备需统一管理的情况。
-
关键词
光伏
扩散炉
.NET平台
SOCKET通讯
文件共享
中控系统
-
Keywords
photovoltaic
diffusion furnace
.NET platform
socket communication
file sharing technology
central control system
-
分类号
TM615
[电气工程—电力系统及自动化]
TP311.52
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
-
-
题名高温氧化扩散炉温控系统设计
被引量：2
- 7
-
-
作者
杨一博
尹文生
王春洪
朱煜
张明超
-
机构
清华大学精密仪器与机械学系
-
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期88-91,共4页
-
基金
北京市科技计划项目(XJZZ0620)
-
文摘
针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成。在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法,改进了PID参数整定算法,引入了轨迹规划算法,完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布。实验表明,在此系统控制下,炉体能够达到高温氧化扩散工艺的需求,并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高。此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。
-
关键词
扩散炉
温度控制
PID自整定
轨迹规划
-
Keywords
diffusion furnace
temperature control
PID self-tuning
trajectory planning
-
分类号
TP274.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN305
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
-
-
题名扩散炉开发现状
被引量：1
- 8
-
-
作者
程朝阳
-
机构
北京七星华创微电子设备分公司扩散所
-
出处
《中国集成电路》
2002年第3期63-64,105,共3页
-
文摘
扩散炉(及CVD)是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。
-
关键词
扩散炉
半导体集成电路
工艺设备
工艺过程
主要用途
高温条件
集成电路生产
硅片
专用设备
自动控制
-
分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
-
题名液态源可控蒸发输送系统
被引量：1
- 9
-
-
作者
吴得轶
杨彬
-
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
-
出处
《电子工业专用设备》
2014年第8期28-30,58,共4页
-
文摘
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HMDSO、TEOS、SiHCl3等。实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响。对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统。
-
关键词
液态源输送
扩散炉
氧化炉
化学气相淀积
-
Keywords
Liquid source delivery
Diffusion furnace
Oxidation furnace
Chemical vapor deposition （CVD）
-
分类号
TM615
[电气工程—电力系统及自动化]
-
-
题名立式扩散/LPCVD系统
- 10
-
-
作者
水品阳一
吴明华
-
机构
Iereor Systems
-
出处
《微细加工技术》
1989年第2期72-78,共7页
-
文摘
利用热能原理的热扩散和热氧化技术的历史悠久,即便在今天的兆位级时代也可以说是基本技术之一,因此,扩散炉和氧化炉以卧式电炉作为基本形式从硅以前锗的时代开始已连续使用了几十年,不言而喻,在这期间由于温度控制系统的CPU化,由软着陆和悬臂架、升降机等带来的自动化和无人(尘)化,由无人工作台及HEPA(高效微粒空气过滤器)。
-
关键词
扩散炉
立式扩散
LP-CVD
-
分类号
TN305.4
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名扩散炉炉丝设计原理
- 11
-
-
作者
王讲书
-
机构
西北轻工业学院基础部
-
出处
《纯粹数学与应用数学》
CSCD
1998年第4期67-70,共4页
-
文摘
电热管式扩散炉在半导体工业中是常用的,本文利用乘子法和脉冲变分原理讨论了扩散炉的炉丝设计问题,给出了设计原理和计算方法。
-
关键词
半导体工业
扩散炉
炉丝
设计
电热管式扩散炉
-
Keywords
tube stoves of electric heat
multiplier
calculus of variation principle of pulse
-
分类号
TN304.05
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名微机控制高温扩散炉温度
被引量：1
- 12
-
-
作者
季保忠
-
机构
重庆工业管理学院电子工程系
-
出处
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
1994年第2期88-90,94,共4页
-
文摘
文章简述了高温扩散炉的结构。
-
关键词
扩散炉
温度控制
-
分类号
TK323
[动力工程及工程热物理—热能工程]
-
-
题名基于LabVIEW与PLC的扩散炉供气控制系统
被引量：1
- 13
-
-
作者
方群
杜鹏程
-
机构
上海尊优自动化设备有限公司
上海大学机电工程与自动化学院
-
出处
《电气自动化》
2014年第4期74-75,108,共3页
-
文摘
基于LabVIEW与PLC,对扩散炉供气系统的控制进行了研究。针对扩散炉供气系统的要求,从供气系统的结构出发,以LabVIEW为开发平台,结合串口通信协议,开发了一种扩散炉供气控制系统,实现了对供气系统的控制和实时监测。实验结果表明,控制系统达到了预期的设计效果,具有工程应用价值。
-
关键词
LABVIEW
PLC
扩散炉
供气系统
控制
-
Keywords
LabVIEW
PLC
diffusion furnace
gas supply system
control
-
分类号
TB492
[一般工业技术]
-
-
题名扩散炉恒温模糊控制器
被引量：1
- 14
-
-
作者
杨果根
-
机构
东北重型机械学院基础部
-
出处
《东北重型机械学院学报》
1990年第1期79-84,共6页
-
文摘
本文应用 FUZZY 理论,提出一种制造半导体器件用的扩散炉恒温控制器的设计方案,把扩散炉温度漂移控制在±0.6℃以内,提高了控温精度并为提高半导体器件的性能及生产过程自动化创造条件。
-
关键词
扩散炉
半导体器件
控制器
温度
-
Keywords
fuzzy control
error
error change
control value
-
分类号
TM305.4
[电气工程—电机]
-
-
题名高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究
被引量：1
- 15
-
-
作者
毛朝斌
陈特超
李克
林伯奇
-
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心
-
出处
《电子工业专用设备》
2012年第4期20-23,共4页
-
文摘
介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。
-
关键词
串级控制
扩散炉
PID
-
Keywords
Cascade control
Diffusion furnace
PID
-
分类号
TM914.41
[电气工程—电力电子与电力传动]
-
-
题名高温氧化扩散炉温度控制系统自整定技术
被引量：1
- 16
-
-
作者
杨一博
尹文生
王春洪
朱煜
-
机构
清华大学精密仪器与机械学系
-
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期810-813,共4页
-
文摘
针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求,提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道,系统通过主动调节各通道激励信号,同时获得各段炉体的谐波平衡信号,从而获得临界周期与临界增益,最终通过Z-N法获得多段炉体PID参数。实验表明,改进的多段炉体整定技术参数稳定有效,时间缩短。利用整定参数进行温度工艺控制实验,实验结果达到氧化扩散工艺要求。
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关键词
扩散炉
温度控制
PID自整定
-
Keywords
diffusion furnace
temperature control
PID self-tuning
-
分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
-
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题名扩散装备发展现状及发展趋势
被引量：1
- 17
-
-
作者
曹孙根
郑荣豪
肖乐
-
机构
南通康比电子有限公司
上海大学机电工程与自动化学院
-
出处
《机械制造》
2013年第5期69-71,共3页
-
基金
上海市科委资助项目(编号:11dz1202602)
-
文摘
研究了光伏发电的关键设备太阳能电池的光电转换效率,并说明了影响太阳能电池转换效率的3个关键因素。讨论了扩散炉对太阳能电池进行磷扩散的扩散时间对3个因素的影响程度。说明存在适合的扩散时间使太阳能电池的开路电压、短路电流、填充因子达到最大值。同时讨论了现有扩散炉设备的温度控制时间和温度对扩散的影响,并在技术表格中列出了现有扩散炉设备的技术参数。分析现有设备的优缺点,提出了扩散炉改进方向。
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关键词
光伏发电
扩散炉
技术参数
-
分类号
TH6
[机械工程—机械制造及自动化]
-
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题名扩散炉温度自动控制系统中的FPGA设计
被引量：1
- 18
-
-
作者
赵萍
王明明
党杨涛
-
机构
西安邮电学院计算机科学与技术系
-
出处
《电子设计工程》
2009年第1期7-8,11,共3页
-
文摘
扩散炉温度自动监控系统是对双管扩散炉温控部分进行改造,以提高炉温精度,从而提高生产线的成品率,降低系统能耗。通过对Actel公司的Fusion系列器件FPGA编程实现系统的硬件控制。用C语言对Actel FPGA内置的8051软核编程实现系统的软件控制。整个监控系统完成数据采集、控制算法和ZigBee无线传输等功能。测试表明,采用Fusion FPGA设计,可以同时完成多路温度控制,整个系统的控制精度也有进一步的提高。
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关键词
温度监控
8051软核
FPGA设计
无线传输
扩散炉
-
Keywords
temperature monitoring
8051 core
FPGA design
wireless transmission
diffusion furnace
-
分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名GK-4型高温扩散炉故障分析二例
- 19
-
-
作者
陈恒祥
-
机构
四川永川电子工业部
-
出处
《设备维修》
1985年第3期40-41,共2页
-
文摘
故障现象1:扩散炉在升温时,发现左端炉丝电压表指示过高,约30伏(正常值约为20伏)。调左端 PID 脉冲板的极限电位器时,中端炉丝电压表指示跟着左端炉丝电压表在变化。而调中端 PID 脉冲板的极限电位器时,左端炉丝电压表指示也在跟着变。这时,如把左边的 PID脉冲板拔掉,左端炉丝电压表仍然有近20伏指示。同样,当左端插上 PID 脉冲板。
-
关键词
扩散炉
GK-4
故障分析
功率变压器
触发电压
变压器次级
反向电压
故障排除
保护电路
一段炉
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分类号
U46
[机械工程—车辆工程]
-
-
题名运用PLC取代扩散炉8016工艺控制器
- 20
-
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作者
钱志刚
-
机构
中国华晶电子集团公司双极电路总厂
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出处
《微电子技术》
2000年第6期55-57,共3页
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基金
.NULL.
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文摘
本文主要介绍了运用ＰＬＣ取代扩散炉８０１６工艺控制器的原因、方法和效果，详细阐述了 ＰＬＣ的性能、优点、结构以及工作原理等。
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关键词
可编程控制器
工艺控制器
半导体设备
扩散炉
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TM571.6
[电气工程—电器]
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