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题名溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展
被引量：6
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作者
康红利
简玮
韩逸山
刘毅
王江涌
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机构
汕头大学理学院物理系
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出处
《汕头大学学报（自然科学版）》
2016年第2期3-24,2,共23页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11274218)
国家自然科学基金与以色列科学基金(NSFC-ISF)共同资助的国际交流项目
科技部政府间科技合作交流项目
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文摘
溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例.
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关键词
深度剖析定量分析
深度分辨率
MRI模型
成分的深度分布
表面分析技术
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Keywords
quantification of sputter depth profiling
depth resolution
MRI model
composition in-depth distribution
surface analysis technique
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分类号
TB302
[一般工业技术—材料科学与工程]
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