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题名MEMS安全与解除隔离装置发展现状及趋势
被引量：4
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作者
席占稳
聂伟荣
曹云
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机构
南京理工大学机械工程学院
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2021年第5期1-14,共14页
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文摘
MEMS技术是未来提升武器性能最有发展前途的技术之一,引信MEMS安全与解除隔离(S&A)装置具有体积小、成本低,易于和引信起爆控制电路集成等优点,国内外对MEMS安全与起爆技术开展了深入的研究。针对引信MEMS S&A装置研究进展,在收集、分析国内外大量文献资料的基础上,总结了引信MEMS S&A装置发展现状及趋势。按照解除隔离的驱动力类型,将MEMS S&A装置划分为惯性力驱动、电热驱动、火药能量驱动三种类型。结合各类型典型装置的分析,分别总结了其技术特征,研判出MEMS S&A装置发展的三个趋势:硅基工艺制作MEMS S&A装置的结构以分层平行基板式,体积更小,更适于大规模生产;微火工品集成在MEMS S&A装置中一体化设计制造;MEMS S&A装置、含能材料设计与制作在一片或多片芯片上,并与微电子系统集成出片(状)上引信。
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关键词
MEMS
安全与解除隔离装置
惯性力驱动
电热驱动
火药气体驱动
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Keywords
MEMS
S&A device
electrothermal actuation
pyrotechnic actuation
inertial actuation
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分类号
TJ43
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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