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微机电微波/射频开关的力学分析及其工艺研究 被引量：7
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作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期273-275,共3页
　文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁... 　文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0.5～5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30～50dB。 展开更多
关键词 射频开关 微机电微波 力学分析 共平面波导 悬管梁 插入损耗 隔离度 制备工艺
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