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恒压式气体微流量计测控系统的设计 被引量:4
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作者 冯焱 成永军 +2 位作者 赵定众 张涤新 李得天 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期37-40,共4页
介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案 ,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。
关键词 恒压气体流量计 测控系统 系统设计 不确定度 真空规 真空漏孔
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恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究
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作者 赵澜 冯焱 +2 位作者 成永军 张涤新 张瑞芳 《宇航计测技术》 CSCD 2012年第5期61-64,67,共5页
为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果... 为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%,可以满足使用要求。 展开更多
关键词 +恒压气体流量计 +波纹管变容室 截面面积 测量
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