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题名恒压式气体微流量计测控系统的设计
被引量:4
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作者
冯焱
成永军
赵定众
张涤新
李得天
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机构
兰州物理研究所
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第2期37-40,共4页
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文摘
介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案 ,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。
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关键词
恒压式气体微流量计
测控系统
系统设计
不确定度
真空规
真空漏孔
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Keywords
gas micro-flowmeter
measurement/control
computer application
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分类号
TB937
[一般工业技术—计量学]
TB75
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究
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作者
赵澜
冯焱
成永军
张涤新
张瑞芳
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机构
兰州空间技术物理研究所
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出处
《宇航计测技术》
CSCD
2012年第5期61-64,67,共5页
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文摘
为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%,可以满足使用要求。
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关键词
+恒压式气体微流量计
+波纹管变容室
截面面积
测量
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Keywords
Constant-pressure gas flow meter +Bellow variable volume chamber Section area Correction a measurement
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分类号
TB77
[一般工业技术—真空技术]
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