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题名微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
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作者
谷留涛
张卫平
崔峰
吴雨婷
范重阳
卢浩琳
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机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第6期1011-1019,共9页
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文摘
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的发展脉络为主线,对微谐振陀螺的发展过程进行了梳理和总结,最后对目前存在的问题进行了分析,对未来的发展进行了展望。
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关键词
微谐振陀螺仪
微谐振器
半球陀螺仪
环形陀螺仪
四质量块陀螺仪
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Keywords
MEMS resonator gyroscope
MEMS resonator
hemisphere resonator gyroscope
ring resonator gyroscope
dual-mass resonator gyroscope
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于Simulink的微半球谐振陀螺仪闭环控制
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作者
朱建港
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机构
中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《导航与控制》
2024年第1期45-54,72,共11页
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文摘
由于微半球陀螺仪的高品质因数特性,其在惯性精密导引领域优势显著,然而相关学术研究较少,尤其是专用集成电路(ASIC)方面。针对自主研发的微半球陀螺仪,建立了陀螺及其驱动和检测电路的Simulink仿真模型。首先,借助二维弹簧阻尼系统得到了该陀螺仪的物理模型及其参数。实测结果显示,模型与实物之间的振动速率仅相差0.5185 mm/s,验证了模型的准确性。其次,提出了基于力平衡模式的锁相环(PLL)和自动增益控制(AGC)驱动回路以及检测回路的模型,并采用双相位锁定法进行幅度解调。最后,所得驱动回路模型频率与实际振动频率只差-0.1924 Hz,检测电路模型的标度因数为0.0311 V/[(°)/s],检测阈值为-0.0013(°)/s~0.0018(°)/s,相对其他模型改善了22.5%,所提出的微半球陀螺仪及其外围电路的精确模型建立方法和电路结构为后续ASIC设计奠定了基础。
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关键词
微半球谐振陀螺仪
SIMULINK
结构模型
闭环控制
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Keywords
micro-hemisphere resonant gyroscope
Simulink
structure model
closed-loop control
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分类号
TP273.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名硅微机械谐振式陀螺仪
被引量：7
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作者
朱一纶
王寿荣
裘安萍
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机构
东南大学仪器科学与工程系
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2003年第4期45-48,54,共5页
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文摘
介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理,给出了硅微机械谐振式陀螺仪的动力学方程详尽推导。针对此方程进行仿真研究,对结构设计参数进行了估计。研究表明,硅微机械谐振式陀螺仪是一种很有发展前途的新型陀螺仪。
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关键词
硅微机械谐振式陀螺仪
工作原理
动力学方程
仿真
结构设计
参数估计
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Keywords
gyroscope
resonant
frequency modulation
rate sensing
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分类号
O318
[理学—一般力学与力学基础]
V241.554
[理学—力学]
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