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1
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基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究 |
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
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《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
11
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2
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论微电子机械系统MEMS |
鄢云
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《西安航空技术高等专科学校学报》
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2004 |
0 |
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3
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提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件 |
张新宇
汤庆乐
张智
裴先登
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《微细加工技术》
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2001 |
1
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4
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第二代硅微电子技术基础—SiGe微结构器件与工艺 |
许居衍
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《微电子技术》
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1993 |
1
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5
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微细电解铣削加工技术研究进展及展望 |
赵斐
牛屾
王思儒
刘现春
宫三朋
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《机床与液压》
北大核心
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2023 |
2
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6
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零模波导原理、制备及其在单分子荧光检测中的应用 |
魏清泉
李运涛
任鲁风
周晓光
俞育德
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《生物技术进展》
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2015 |
4
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7
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应用于单分子测序的纳米微结构器件 |
李运涛
任鲁风
周晓光
于军
俞育德
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《物理》
CAS
北大核心
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2012 |
1
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8
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THz波微结构器件特性的研究 |
栗岩锋
王昌雷
刘丰
田震
谷建强
胡明列
柴路
王清月
邢岐荣
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《中国电子科学研究院学报》
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2009 |
0 |
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9
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大幅面超薄基板表面微结构光学器件的微纳米压印关键技术分析 |
李明
丁进新
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《电子技术（上海）》
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2023 |
0 |
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