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微尺度金属零部件特种加工技术的研究进展 被引量：1
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作者 李江伟 施小婧 《电子制作》 2013年第2X期159-159,共1页
概述了微细电火花、微细电铸、微细电解和高能束四种类型面向微尺度金属零部件的特种加工技术的原理、应用及研究进展;总结指出,因固有的非接触加工属性,赋予微细特种加工技术工艺柔性好、无残余应力和变形等突出优势,使得在金属微加工... 概述了微细电火花、微细电铸、微细电解和高能束四种类型面向微尺度金属零部件的特种加工技术的原理、应用及研究进展;总结指出,因固有的非接触加工属性,赋予微细特种加工技术工艺柔性好、无残余应力和变形等突出优势,使得在金属微加工/制造领域展现出独特的工艺优越性。 展开更多
关键词 微尺度金属零部件 微细电火花加工技术 微细电铸加工技术 微细电解加工技术 高能束加工技术
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