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微纳定位/进给技术研究现状综述
1
作者
嵇国金
马奎
王磊
《机械设计》
CSCD
北大核心
2005年第9期1-3,共3页
微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术。它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提。就当前的几种典型的微纳电位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了...
微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术。它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提。就当前的几种典型的微纳电位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了存在的问题和可能的解决方法。
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关键词
微
纳
技术
微
纳
定位/进给
微
纳
位移
发生
/
驱动器
下载PDF
职称材料
题名
微纳定位/进给技术研究现状综述
1
作者
嵇国金
马奎
王磊
机构
同济大学电子与信息工程学院
同济大学中德学院
出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2005年第9期1-3,共3页
文摘
微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术。它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提。就当前的几种典型的微纳电位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了存在的问题和可能的解决方法。
关键词
微
纳
技术
微
纳
定位/进给
微
纳
位移
发生
/
驱动器
Keywords
micro-nano technology
micro-nano positioning and feeding
micro-nano displacement producer/driver
分类号
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微纳定位/进给技术研究现状综述
嵇国金
马奎
王磊
《机械设计》
CSCD
北大核心
2005
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