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基于商用坐标测量机的3D微纳米计量(英文) 被引量：2
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作者 于连栋 BRAND Uwe 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第6期437-441,共5页
以测量精度为1μm的商用坐标测量机(CMM)为基础,构建了测量范围为25mm×40mm×25mm、测量不确定度约为0.15μm的PTB微纳米专用坐标测量机.研究了CMM的运动控制系统、恒温室的空调系统以及CMM的被动隔振系统等对测量结果的影响.... 以测量精度为1μm的商用坐标测量机(CMM)为基础,构建了测量范围为25mm×40mm×25mm、测量不确定度约为0.15μm的PTB微纳米专用坐标测量机.研究了CMM的运动控制系统、恒温室的空调系统以及CMM的被动隔振系统等对测量结果的影响.由测量结果可以看出,CMM的运动控制系统产生的噪声水平约为其他误差源的2倍.通过FFT运算,发现未优化系统的短时最大漂移量发生频率为750Hz,对应为运动控制的工作频率.文中还介绍了测量力为1μN光纤探针的测量原理,并给出了对2.5mm短轴的测量结果. 展开更多
关键词 微系统计量 坐标测量机 激光干涉仪 光纤探针
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