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题名应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计
被引量：3
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作者
代志双
徐亮
谢亮
金湘亮
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机构
湘潭大学物理与光电工程学院
微光电与系统集成湖南省工程实验室
湖南师范大学物理与电子科学学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第5期77-80,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61774129,61827812)。
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文摘
基于相关双采样、斩波技术以及电容自适应校准技术,设计了一种低噪声、高动态范围的全差分电容式微系统(MEMS)加速度计检测电路。在检测电路感应电容中采用电容自适应校准技术,消除电容失配,提高检测范围;在开关电容低通滤波器中加入斩波,降低滤波器噪声;控制滤波器时序,消除电荷注入引起的非线性。在5 V电源供电下,仿真结果表明:检测电路输出线性电压范围为±3 V,在0.01~300 Hz范围内,等效输出噪声为650 nV,检测动态范围高于120 dB。
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关键词
低噪声
高动态范围
微系统(mems)加速度计
电容自适应校准
相关双采样
斩波技术
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Keywords
low noise
high dynamic range
mems accelerometer
capacitive adaptive calibration
correlated double sampling
chopping technology
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于Kalman滤波和六位置法的加速度计标定补偿
被引量：6
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作者
刘宇
季廷洪
向高林
张欣
龚爽
宁莉莎
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机构
重庆邮电大学光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期94-98,110,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51175535)
MEMS振动传感与微姿态组合测井技术国际联合研究中心科技平台与基地建设基金资助项目(cstc2014gjhz0038)
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文摘
加速度计的零偏、刻度因子、安装误差都会影响加速度计的精度。以微机械系统(MEMS)加速度计为实验对象,采用卡尔曼(Kalman)滤波对实验数据进行滤波,结合六位置法得到MEMS加速度计的零偏、刻度因子、安装误差与MEMS加速度计测量值的关系,最终获得基于Kalman滤波和六位置法的MEMS加速度计标定补偿数学模型。通过实验测试表明,补偿后MEMS加速度计的输出值更接近标准值,且加速度计解算俯仰角(-90°^+90°)的绝对误差由补偿前的1°经补偿后减小为0.34°。验证了该标定补偿算法的可行性,对提高MEMS加速度计测量精度有较好的理论和工程应用价值。
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关键词
卡尔曼(Kalman)滤波
六位置法
微机械系统(mems)加速度计
安装误差
标定
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Keywords
Kalman filtering
six position method
Micro-Electro-Mechanical System（mems）accelerometer
installation error
calibration
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分类号
V241.622
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
TN384
[电子电信—物理电子学]
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题名一种改进 MEMS 加速度计标定补偿方法
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作者
刘宇
曹原
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机构
重庆邮电大学
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出处
《中国航班》
2019年第18期76-77,共2页
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文摘
针对微机械系统 (MEMS) 加速度计在实际使用过程中存在非正交零偏误差和随机误差的问题,提出了一种基于正则粒子滤波的改进加速度计十二位置校准算法。算法采用正则粒子滤波消除加速度计原始数据携带的随机噪声,再通过十二位置标定模型计算两组加速度计误差系数,然后采用阈值法调整两组误差系数的权重,最终得到精确的标定系数。
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关键词
微机械系统(mems)加速度计
正则粒子滤波
十二位置校准
阈值法
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分类号
V
[航空宇航科学技术]
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