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题名微米/纳米加工中的聚焦离子束技术
被引量：2
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作者
钱海霞
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机构
深圳大学材料科学与工程系深圳市特种功能材料重点实验室
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出处
《广东化工》
CAS
2009年第7期84-86,共3页
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基金
深圳大学科研基金资助面上项目(200920)
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文摘
聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理,着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束辅助沉积和离子注入等微米/纳米加工领域的应用,并对聚焦离子束技术的特点及未来的发展前景进行了总结和分析。
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关键词
聚焦离子束
刻蚀
沉积
离子注入
微米/纳米加工
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Keywords
focused ion beam
milling
ion-assisteddeposition
ion implantation
micro-/nano-fabrication
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分类号
TQ
[化学工程]
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题名双光子聚合加工均匀木堆结构方法的研究
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作者
林洁琼
陈禹平
靖贤
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机构
长春工业大学机电工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2019年第11期83-85,共3页
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基金
国家自然科学基金项目(51375060)
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文摘
由于双光子聚合所具有的纳米级加工分辨率以及真三维制造能力,被广泛应用于微米纳米制造领域。利用双光子聚合加工的三维木堆结构是实现生物支架、光子晶体、超材料等功能器件的重要途径之一。但是加工结构在经过后处理之后产生的不均匀收缩成为获得高质量木堆结构的重要阻碍,严重时会导致失去其结构的功能性。为了实现木堆结构的均匀性加工,提出一种通过降低加工结构与基底附着力的方法,来实现均匀木堆结构的加工。此外,采用Ormocomp光敏材料以及双光子聚合加工技术,对基底高附着力和低附着力的木堆结构分别进行了加工。通过对加工所得木堆结构的各层尺寸的测量,验证了所提出方法的有效性。
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关键词
微机电系统
双光子聚合
木堆结构
微米纳米加工
飞秒激光
结构收缩
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Keywords
Microelectromechanical Systems
Two-Photon Polymerization
Log-Pile Structure
Micro-/Nano-Fabri-cation
Femtosecond Laser
Structural Shrinkage
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TH161
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