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硅基微磁通门非晶Fe_(96)Nb_4铁芯薄膜的研究 被引量：1
1
作者 梁晋涛 刘诗斌 张程煜 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期871-873,共3页
采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明... 采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善。基片温度为630K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料。 展开更多
关键词 Fe96Nb4铁芯薄膜 软磁 微磁通门 双铁芯磁探头
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MEMS与磁传感器
2
作者 张瑞平 刘俊 《测试技术学报》 2004年第z3期26-28,共3页
微电子机械系统(MEMS)是21世纪一项革命性的新技术.其加工工艺是在硅微电子基础上发展起来的,本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为... 微电子机械系统(MEMS)是21世纪一项革命性的新技术.其加工工艺是在硅微电子基础上发展起来的,本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分. 展开更多
关键词 MEMS 微磁通门 微磁阻传感器
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