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用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文) 被引量：2
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作者 王明亮 郑剑铭 孙道恒 《微纳电子技术》 CAS 2004年第4期27-31,共5页
介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区。最后根据优化后的参数制作出满足课题需要的实验结果。
关键词 AZ4620 微电镀模 制作工艺 光刻 悬臂梁
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