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利用试验设计方法表征微电路工艺设备 被引量：4
1
作者 游海龙 贾新章 +1 位作者 徐岚 陈光炳 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期382-385,共4页
随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备... 随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备的表征,建立了氧化膜厚度以及厚度均匀性的工艺模型,可进一步用于工艺条件的优化设计。 展开更多
关键词 试验设计 微电路工艺 工艺模型
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BOX-COX变换与微电路工艺设备表征 被引量：2
2
作者 游海龙 贾新章 +1 位作者 徐岚 陈光炳 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期398-402,共5页
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归... (利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归模型满足上述假设。结果表明:数据转换的建模方法能满足方差分析的假设(违反度减轻),并且能更多发掘数据信息,氧化膜厚的模型拟合修正判定系数R2由93.54%增加到98.64%。所得模型用于优化工艺条件,在满足膜厚目标下,非均匀性由0.2%减小到0.08%。文中讨论的基于数据转换的建模方法可以用于半导体制造其他工艺。 展开更多
关键词 部分要因试验设计 微电路工艺 Box—Cox转换 方差分析假设
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基于广义回归神经网络的微电路工艺设备表征
3
作者 游海龙 贾新章 张春福 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期911-914,共4页
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧... 为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧化膜厚以及均匀性为目标值的热氧化工艺模型,最后利用信噪比函数对模型的拟合以及预测能力进行了验证与比较分析.结果表明,该方法建立的模型可用于工艺表征与控制.所讨论的方法可用于其他微电路工艺设备的表征. 展开更多
关键词 微电路工艺设备 广义回归神经网络 信噪比函数 试验设计
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