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基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计
被引量:
2
1
作者
鲍丙豪
陈亮
《电子科技》
2019年第3期57-60,共4页
基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率...
基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能。实验结果表明,电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位,分辨率可达61 aF。
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关键词
MEMS
电容
式压力传感器
Pcap01
TDC
微
电容
检测
技术
微
处理器
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职称材料
题名
基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计
被引量:
2
1
作者
鲍丙豪
陈亮
机构
江苏大学机械工程学院
出处
《电子科技》
2019年第3期57-60,共4页
基金
国家自然科学基金(51575248)~~
文摘
基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能。实验结果表明,电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位,分辨率可达61 aF。
关键词
MEMS
电容
式压力传感器
Pcap01
TDC
微
电容
检测
技术
微
处理器
Keywords
MEMS
capacitive pressure sensor
Pcap01
TDC
micro-capacitance measuringtechnology
microprocessor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计
鲍丙豪
陈亮
《电子科技》
2019
2
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