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微电子级多晶硅工艺管道洁净安装施工技术 被引量：2
1
作者 王卫东 闫晓辉 《安装》 2013年第6期46-47,共2页
洁净管道安装过程中,通过对管道下料、组对、焊接、压力试验、吹扫等进行洁净技术措施控制,达到管道系统洁净度。
关键词 微电子级多晶硅 洁净度 气室保护装置 洁净包封 洁净室
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多晶硅工艺管道及设备络合清洗
2
作者 闫晓辉 王卫东 《安装》 2013年第2期38-39,共2页
微电子级多晶硅生产工艺要求原料要在"无油、无水、无尘"的环境下运行,系统洁净度要求高。络合清洗过程就是利用有机化合物在一定的浓度和温度下,通过和金属表面的油脂、铁屑、氧化物、化学残留物等反应,生成可溶性的化合物。
关键词 微电子级多晶硅 洁净度 络合清洗 PH值 反应时间
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