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题名电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计
被引量：1
- 1
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作者
沈国豪
张卫平
刘武
魏志方
邹逸飞
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机构
微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第12期912-917,共6页
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文摘
微电子机械系统(MEMS)传声器是一种将音频信号转换为电信号的微型传感器。为了得到较高灵敏度和信噪比(SNR)的传声器,同时又能保证其可靠性,设计并制备了一种结构优化的电容式硅基MEMS传声器。将两种特殊结构相结合,对电容式硅基MEMS传声器的带孔振动膜结构进行了优化。振动膜采用厚度各异的掺杂多晶硅-非掺杂多晶硅-掺杂多晶硅的特殊膜结构以得到低应力振动膜。采用特殊的防粘连结构以防止为了提高灵敏度可能带来的粘连现象。结构优化后的MEMS传声器分别采用顶部封装和底部封装两种方式进行封装,对实验样品进行测试,结果显示其灵敏度约为-41 dB,信噪比约为64 dB,参数值均符合市场行业标准,此MEMS传声器结构具有可行性。
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关键词
微电子机械系统(mems)器件
电容式传声器
低应力振动膜
防粘连结构
顶(底)端开口封装
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Keywords
micro-electromechanical system(mems) device
condenser microphone
low stress diaphragm
anti-adhesion structure
top(bottom) opening package
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分类号
TN304.12
[电子电信—物理电子学]
TN641.2
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题名应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器
被引量：1
- 2
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作者
李明昊
杨拥军
任臣
付迪
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
河北美泰电子科技有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第12期926-931,共6页
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文摘
为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模型的建立。在电路设计时,调制器整体采用全差分的开关电容电路来实现。为了降低整体调制器的噪声,在第1级积分器中加入了斩波稳定模块,并采用了具有低回踢噪声的动态比较器作为一位量化器。本设计在0.18μm BCD工艺下实现,工作电压为5 V、采样频率为500 kHz、过采样率为128时,调制器的功耗约为4.25 mW,有效位数为19.06 bit。
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关键词
微电子机械系统(mems)惯性器件
Σ-Δ调制器
斩波放大器
高速动态比较器
回踢噪声
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Keywords
micro-electromechanical system(mems)inertial device
Σ-Δmodulator
chopper amplifier
high speed dynamic comparator
kickback noise
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分类号
TN433
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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