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MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展 被引量：2
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作者 丁然 唐洁 +1 位作者 赵珍阳 范茂军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第8期157-160,共4页
综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器... 综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造。针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题。 展开更多
关键词 微机电系统水听器 结构设计 国内外现状
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