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微型机械和微机器人的发展状况 被引量:9
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作者 蔡鹤皋 孙立宁 +1 位作者 安辉 张涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期38-41,共4页
微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅... 微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上,不仅将传统的无源机构变为有源... 展开更多
关键词 机器人 机械 型机器人系统 发展状况 型机构 装配机器人 动机器人 压电陶瓷驱动 机械电子 应用领域
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微器件装配系统与关键技术 被引量:5
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作者 李云平 龙志峰 +2 位作者 李庆祥 王晓晔 薛实福 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第3期1-6,共6页
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
关键词 系统 装配 MEMS 机械电子
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适用于微粒操作的真空微夹研究 被引量:5
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作者 刘敏 彭刚 黄心汉 《兵工自动化》 2002年第4期9-12,共4页
微夹研究是微机械电子学系统(MEMS)领域的一个前沿课题。在微粒操作中,起主导作用的是表面力(包括静电力、范德华力和张力),重力可忽略。真空微夹由真空喷射泵、线性压力调节阀、电磁开关阀以及满足尺寸和形状要求玻璃吸管组成。其控制... 微夹研究是微机械电子学系统(MEMS)领域的一个前沿课题。在微粒操作中,起主导作用的是表面力(包括静电力、范德华力和张力),重力可忽略。真空微夹由真空喷射泵、线性压力调节阀、电磁开关阀以及满足尺寸和形状要求玻璃吸管组成。其控制系统为一单片机系统,控制命令由上位机(PC机)给出。对300μm玻璃小球的吸取和释放实验表明,系统结构和控制方式可行,效果良好,适用于亚毫米级微粒的自动吸取和释放操作。 展开更多
关键词 机械电子 真空 粒操作 吸附 放置
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微机械电子学—机械电子学的新发展
4
作者 廉仲 王庭树 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期311-315,共5页
综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景.
关键词 机械电子 细加工 机械电子
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机械电子学的进展与前景
5
作者 万遇良 《电工技术杂志》 2000年第9期1-4,共4页
着重讨论机械电子学的进展、特征及其主要发展前景──数字化、智能化和微型化。
关键词 机械电子 数字化制造 机械电子
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日本大量增加科研预算费用
6
作者 钟晓班 《管理观察》 1998年第7期41-42,共2页
日本文部省力图将1997年4月1日汗始的年度大学科研计划(包括平均数额为100万美元的数百个五年项目补贴预算费用增加一倍。这一设想是与科学相关的各省将国家科学和技术费用在近五年内增加50%的努力的一部分。日本科学振兴会(JSPS)为... 日本文部省力图将1997年4月1日汗始的年度大学科研计划(包括平均数额为100万美元的数百个五年项目补贴预算费用增加一倍。这一设想是与科学相关的各省将国家科学和技术费用在近五年内增加50%的努力的一部分。日本科学振兴会(JSPS)为博士后奖学金和外国学者的研究提供资金.它异乎导常地在1996财政年度内百次获得了大量预算.总额为110亿日元问亿美元).现在它请求政府拨款220亿日元。大学和研究所的计划包括下列领域的研究项目:新材料、分子级平面动力学、新一代微处理器技术、计算机技术、合成、微机械电子学、生物技术、人类基因研究、细胞组织、生物信息学、人脑研究、结构生物学、长寿科学、进化生物学和医疗技术等。大学和工业部门联合研究的预算增加了38.3%。但是,由于工业企业活力衰退的持续影响,预计工业界不会对这些联合研究投入很多资金。 展开更多
关键词 科研预算 生物信息 机械电子 日本文部省 工业企业活力 预算费用 平面动力 人类基因研究 结构生物 进化生物
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微机械电子学的现状
7
作者 李栓庆 《半导体情报》 1992年第1期39-48,共10页
本文先介绍了微机械电子学的概况,接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料,最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。
关键词 机械电子 机械加工 半导体工艺
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光学仪器 光学仪器装调
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《中国光学》 CAS 2005年第6期78-78,共1页
TH706 2005064487 精密工作台的设计与实验研究=Design and experimental study on the precision service platforms[刊,中]/巩娟(清 华大学精密仪器与机械学院.北京(100084)),李庆祥…∥ 光学技术.-2005,31(4).
关键词 动工作台 工作台系统 装调 精密工作台 粗动 机械电子 精密仪器 关键技术 机械 装配
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电子学与电子工程
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《电子科技文摘》 2000年第11期1-1,共1页
Y2000-62423 00178521999年 IEEE 微机械电子学与人类科学国际研讨会会议录=1999 IEEE proceeding of international symposiumon micromechatronics and human science[会,英]/IEEEIndustrial Electronics Society.—IEEE,1999.—285P.... Y2000-62423 00178521999年 IEEE 微机械电子学与人类科学国际研讨会会议录=1999 IEEE proceeding of international symposiumon micromechatronics and human science[会,英]/IEEEIndustrial Electronics Society.—IEEE,1999.—285P.(EC)本会议录收集了于1999年11月23~26日在日本名古屋召开的微机械电子学与人类科学研讨会上发表的42篇论文,内容涉及微/纳米操纵与控制,微制造、材料及特性.微型机器人,微型组件与器件,测量与系统。 展开更多
关键词 机械电子 会议录 型机器人 纳米操纵 研讨会 国际研讨会 制造 型组件 人类科 电子工业
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