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微机械构件的表面去粘着技术
被引量：
5
1
作者
张西慧
吕苗
苗勇
《微纳电子技术》
CAS
2003年第12期24-27,38,共5页
由于尺寸的减小和需要产生弹性形变,微机械构件的表面力(表面张力、粘着力)成为影响系统性能的关键因素。本文介绍了造成微构件表面粘着的因素,从材料、工艺和设计等方面综述了减弱或去除微机械构件表面粘着力的七种技术,并对相关工作...
由于尺寸的减小和需要产生弹性形变,微机械构件的表面力(表面张力、粘着力)成为影响系统性能的关键因素。本文介绍了造成微构件表面粘着的因素,从材料、工艺和设计等方面综述了减弱或去除微机械构件表面粘着力的七种技术,并对相关工作进行了总结和展望。
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关键词
微
机械
构件
表面去粘着技术
毛细吸引力
粘着能
弹性形变
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职称材料
MEMS微悬臂梁构件变形规律的AFM试验研究
被引量：
3
2
作者
张向军
孟永钢
温诗铸
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2005年第8期966-968,共3页
采用原子力显微镜测试了微悬臂梁构件的弯曲变形规律。发现构件的弹性支撑是试验数据和理论计算出现误差的主要原因。引入支撑扭转等效刚度对探针-样品等效刚度计算公式进行修正。修正结果对大有效长度的构件与实测结果吻合良好。对短...
采用原子力显微镜测试了微悬臂梁构件的弯曲变形规律。发现构件的弹性支撑是试验数据和理论计算出现误差的主要原因。引入支撑扭转等效刚度对探针-样品等效刚度计算公式进行修正。修正结果对大有效长度的构件与实测结果吻合良好。对短有效长度微悬臂梁,其误差原因主要为支撑的影响以及测试探针的大变形,论文进一步提出研究的建议。
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关键词
微
机械
构件
原子力显
微
镜
等效刚度
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职称材料
微机械构件表面激光诱导化学复合镀纳米C60晶体工艺及性能研究
被引量：
2
3
作者
钟良
侯力
+1 位作者
刘传慧
应琴
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1628-1631,共4页
采用化学镀的方法实现了纳米C60晶体的表面金属化,然后通过激光诱导的方法,在微细构件表面,化学复合镀覆了Ni-P/纳米C60的复合镀层。采用扫描电子显微镜和PLINT高温微动疲劳试验机对镀层的组织形貌和摩擦学性能进行了表征分析,并考察了...
采用化学镀的方法实现了纳米C60晶体的表面金属化,然后通过激光诱导的方法,在微细构件表面,化学复合镀覆了Ni-P/纳米C60的复合镀层。采用扫描电子显微镜和PLINT高温微动疲劳试验机对镀层的组织形貌和摩擦学性能进行了表征分析,并考察了工艺参数对其的影响,结果表明基于C60的特殊分子结构以及其在摩擦磨损过程中所起的作用,镀层的摩擦系数明显减小,耐磨性能显著提高。
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关键词
微
机械
构件
激光诱导
C60晶体
化学复合镀
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职称材料
微系统─电子技术的又一里程碑
4
作者
谢国章
《电子工程师》
1994年第1期26-28,共3页
微系统─电子技术的又一里程碑河海大学机械学院谢国章１概述微系统是指将微机械构件与微电子器件制在同一衬底或芯片上所构成的系统，其大小不超过一平方厘米。这种微系统既具有微电子的指挥、决策功能，又具有微机械的传感、执行功能...
微系统─电子技术的又一里程碑河海大学机械学院谢国章１概述微系统是指将微机械构件与微电子器件制在同一衬底或芯片上所构成的系统，其大小不超过一平方厘米。这种微系统既具有微电子的指挥、决策功能，又具有微机械的传感、执行功能，是典型的全智能系统，像人类那样拥...
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关键词
微
系统
电子技术
微
机械
构件
微
电子器件
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职称材料
微细加工技术与设备
5
《中国光学》
EI
CAS
2000年第3期100-100,共1页
TN30.5.7 2000032167准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究=Applicationof the excimer laser etching technologyin micromachine[刊,中]/梁静秋,姚劲松(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.—1999,7(5).—63-66准...
TN30.5.7 2000032167准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究=Applicationof the excimer laser etching technologyin micromachine[刊,中]/梁静秋,姚劲松(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.—1999,7(5).—63-66准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景,用该技术制作的聚合物结构深宽比大、精度高,并且工艺简单。分析了准分子激光刻蚀原理,探索了这种技术的工艺方法和技术条件,特别对掩模的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。采用简易的实验装置,用自行研制的三种结构掩模进行了准分子激光刻蚀实验,得到了50 μm深的聚合物材料微机械构件。
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关键词
准分子激光刻蚀
微
机械
构件
精密工程
刻蚀技术
衰减相移掩模
中科院
自行研制
应用研究
聚合物结构
精度高
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职称材料
题名
微机械构件的表面去粘着技术
被引量：
5
1
作者
张西慧
吕苗
苗勇
机构
河北工业大学
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第12期24-27,38,共5页
文摘
由于尺寸的减小和需要产生弹性形变,微机械构件的表面力(表面张力、粘着力)成为影响系统性能的关键因素。本文介绍了造成微构件表面粘着的因素,从材料、工艺和设计等方面综述了减弱或去除微机械构件表面粘着力的七种技术,并对相关工作进行了总结和展望。
关键词
微
机械
构件
表面去粘着技术
毛细吸引力
粘着能
弹性形变
Keywords
micromechanical devices
capillary force
adhesion energy
分类号
TB4 [一般工业技术]
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职称材料
题名
MEMS微悬臂梁构件变形规律的AFM试验研究
被引量：
3
2
作者
张向军
孟永钢
温诗铸
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2005年第8期966-968,共3页
基金
国家自然科学基金重点项目(50135040)
青年基金项目(50305014)资助
文摘
采用原子力显微镜测试了微悬臂梁构件的弯曲变形规律。发现构件的弹性支撑是试验数据和理论计算出现误差的主要原因。引入支撑扭转等效刚度对探针-样品等效刚度计算公式进行修正。修正结果对大有效长度的构件与实测结果吻合良好。对短有效长度微悬臂梁,其误差原因主要为支撑的影响以及测试探针的大变形,论文进一步提出研究的建议。
关键词
微
机械
构件
原子力显
微
镜
等效刚度
Keywords
Micro cantilever
Atomic force microscope
Effective stiffness
分类号
TH741.8 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
微机械构件表面激光诱导化学复合镀纳米C60晶体工艺及性能研究
被引量：
2
3
作者
钟良
侯力
刘传慧
应琴
机构
四川大学制造学院
西南科技大学制造学院
制造过程测试技术教育部重点实验室
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1628-1631,共4页
基金
四川省教育厅资助(09zd007)
绵阳市科技局项目(10zd2102)
文摘
采用化学镀的方法实现了纳米C60晶体的表面金属化,然后通过激光诱导的方法,在微细构件表面,化学复合镀覆了Ni-P/纳米C60的复合镀层。采用扫描电子显微镜和PLINT高温微动疲劳试验机对镀层的组织形貌和摩擦学性能进行了表征分析,并考察了工艺参数对其的影响,结果表明基于C60的特殊分子结构以及其在摩擦磨损过程中所起的作用,镀层的摩擦系数明显减小,耐磨性能显著提高。
关键词
微
机械
构件
激光诱导
C60晶体
化学复合镀
Keywords
micromechanical devices
laser induced
fullerene C60
electroless composite plating
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
微系统─电子技术的又一里程碑
4
作者
谢国章
机构
河海大学机械学院
出处
《电子工程师》
1994年第1期26-28,共3页
文摘
微系统─电子技术的又一里程碑河海大学机械学院谢国章１概述微系统是指将微机械构件与微电子器件制在同一衬底或芯片上所构成的系统，其大小不超过一平方厘米。这种微系统既具有微电子的指挥、决策功能，又具有微机械的传感、执行功能，是典型的全智能系统，像人类那样拥...
关键词
微
系统
电子技术
微
机械
构件
微
电子器件
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
微细加工技术与设备
5
出处
《中国光学》
EI
CAS
2000年第3期100-100,共1页
文摘
TN30.5.7 2000032167准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究=Applicationof the excimer laser etching technologyin micromachine[刊,中]/梁静秋,姚劲松(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.—1999,7(5).—63-66准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景,用该技术制作的聚合物结构深宽比大、精度高,并且工艺简单。分析了准分子激光刻蚀原理,探索了这种技术的工艺方法和技术条件,特别对掩模的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。采用简易的实验装置,用自行研制的三种结构掩模进行了准分子激光刻蚀实验,得到了50 μm深的聚合物材料微机械构件。
关键词
准分子激光刻蚀
微
机械
构件
精密工程
刻蚀技术
衰减相移掩模
中科院
自行研制
应用研究
聚合物结构
精度高
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械构件的表面去粘着技术
张西慧
吕苗
苗勇
《微纳电子技术》
CAS
2003
5
下载PDF
职称材料
2
MEMS微悬臂梁构件变形规律的AFM试验研究
张向军
孟永钢
温诗铸
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2005
3
下载PDF
职称材料
3
微机械构件表面激光诱导化学复合镀纳米C60晶体工艺及性能研究
钟良
侯力
刘传慧
应琴
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
下载PDF
职称材料
4
微系统─电子技术的又一里程碑
谢国章
《电子工程师》
1994
0
下载PDF
职称材料
5
微细加工技术与设备
《中国光学》
EI
CAS
2000
0
下载PDF
职称材料
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