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基于均值调整梯度高精度分割多聚焦图像微小特征
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作者 潘亚 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2017年第7期84-87,91,共5页
提出均值调整梯度的多聚焦图像微小特征高精度分割法,通过均值调整法对图像进行均值分析,在给出均值分析后的调整过程的基础上,采用Log Gabor小波法进行二维信号相位一致的处理,方向幅度与其相位进行计算,实现多聚焦图像微小特征的高精... 提出均值调整梯度的多聚焦图像微小特征高精度分割法,通过均值调整法对图像进行均值分析,在给出均值分析后的调整过程的基础上,采用Log Gabor小波法进行二维信号相位一致的处理,方向幅度与其相位进行计算,实现多聚焦图像微小特征的高精度分割.实验表明,采用此方法识别精度高,分割速度快,具有一定的优势. 展开更多
关键词 多聚焦图像 微小特征 高精度 均值调整梯度分割法
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基于结构光的微小特征三维测量系统 被引量:6
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作者 张观锦 高健 林辉 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2018年第9期72-75,80,共5页
针对微电子制造领域中各种微小型元件的三维测量,研究开发了一套基于结构光技术的高精度三维形貌测量系统,将工业相机与置备高精度小幅面镜头的可编程DLP投影仪结合搭建小视场三维测量系统。针对表面有突点、不连续的微小特征,研究其三... 针对微电子制造领域中各种微小型元件的三维测量,研究开发了一套基于结构光技术的高精度三维形貌测量系统,将工业相机与置备高精度小幅面镜头的可编程DLP投影仪结合搭建小视场三维测量系统。针对表面有突点、不连续的微小特征,研究其三维形貌测量方法,提出将四步+多波长相移算法与小视场条纹投影结合的方法来实现高精度的三维测量。针对小视场的结构光测量系统,研究高精度的投影仪标定方法,提出一种改进的标定板图案及标定算法,实现投影仪标定精度达0.189像素。将投影仪看作一个逆向相机并根据相位信息和标定参数进行三维重建。实验对标准量块及倒装芯片的晶圆突点进行测量,测得沟槽深度平均偏差为0.003 mm,晶圆突点三维重建效果良好。 展开更多
关键词 光学三维测量 微小特征三维测量 结构光 多波长相移
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基于修正Mask R-CNN算法的继电室机器人微小特征识别
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作者 陆颖杰 苏淼 黄超 《机械制造与自动化》 2022年第4期169-172,共4页
为研究继电室机器人对继电室的实时监控效果,在继电室机器人上搭载实时监控模块并对开关柜进行智能检测。开关柜上有锁孔和开关两个微小特征需要识别,结合深度学习和双目视觉技术,对Mask R-CNN模型进行算法修正,实现继电室机器人对继电... 为研究继电室机器人对继电室的实时监控效果,在继电室机器人上搭载实时监控模块并对开关柜进行智能检测。开关柜上有锁孔和开关两个微小特征需要识别,结合深度学习和双目视觉技术,对Mask R-CNN模型进行算法修正,实现继电室机器人对继电室中开关柜上微小特征的识别。 展开更多
关键词 Mask R-CNN 双目视觉 微小特征识别 继电室机器人
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微小几何特征微铣削试验研究 被引量:5
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作者 王飞 程祥 +2 位作者 郑光明 田业冰 孙秋莲 《工具技术》 2019年第2期47-51,共5页
微小型零件几何特征的加工质量直接影响微小型零件的使用性能,本文对50μm厚的微小几何特征尺寸精度及表面质量开展试验研究。正交试验结果显示:微铣削黄铜材料时,铣削参数对铣削力的影响主次为每齿进给量f_z、轴向切深a_p、径向切深a_e... 微小型零件几何特征的加工质量直接影响微小型零件的使用性能,本文对50μm厚的微小几何特征尺寸精度及表面质量开展试验研究。正交试验结果显示:微铣削黄铜材料时,铣削参数对铣削力的影响主次为每齿进给量f_z、轴向切深a_p、径向切深a_e;铣削参数对尺寸误差的影响主次为a_p> a_e> f_z;铣削参数对表面粗糙度的影响主次为a_p> f_z> a_e。试验获得优化参数组合为a_p=15μm、a_e=30μm、f_z=0. 7μm,表明微铣削过程中轴向切深对加工质量的影响大于其他参数。因此,实际生产中应选择合适的轴向切深,较大的进给量和径向切深,以保证微型几何特征的加工质量,获得较高的加工效率。 展开更多
关键词 微铣削 微小几何特征 铣削力 尺寸误差 表面粗糙度 正交试验
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