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纳米电磁致动器的发展 被引量:5
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作者 杨圣 刘东伟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1316-1319,共4页
纳米致动器是纳米测控的关键部件 ,而纳米测控又是纳米技术的重要基础。讨论了纳米冲击式电磁致动器工作原理 ,给出冲击式电磁致动器的一些典型结构 。
关键词 电磁致动 驱动 定位器 纳米技术
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一种新的基于柔性悬臂梁的柔性机构设计方法 被引量:5
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作者 张兴勇 苑伟政 熊本炎 《航空制造技术》 2005年第10期78-80,共3页
微定位器是精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性机构则是微定位器的核心部件。本文利用有限元分析软件ANSYS对传统的基于柔性铰链的柔性机构和一种新的基于柔性悬臂梁的柔性机构进行了对比分析。分析结果表明,在相同的外形尺寸和作... 微定位器是精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性机构则是微定位器的核心部件。本文利用有限元分析软件ANSYS对传统的基于柔性铰链的柔性机构和一种新的基于柔性悬臂梁的柔性机构进行了对比分析。分析结果表明,在相同的外形尺寸和作用力下,新柔性机构的输出位移增加了一倍,最大应力减少了23%。最后给出了一种新的基于柔性悬臂梁的柔性机构的设计方法,该方法可以减少设计参数并大大减少计算量。 展开更多
关键词 定位器 柔性机构 柔性铰链 柔性悬臂梁 有限元法 柔性悬臂梁 柔性机构 设计方法 有限元分析软件 定位器 ANSYS 精密加工 组成部分 纳米技术
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微定位器中柔性铰链结构的有限元分析及改进 被引量:2
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作者 熊本炎 李雪丽 《陕西工学院学报》 2004年第1期22-24,28,共4页
 微定位器是微机械系统精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性铰链结构则是微定位器的核心部件。利用有限元分析软件ANSYS,对两种常见铰链进行了分析,研究了其几何参数对结构的刚度、运动方向精度的影响;证明了在微动范围内,柔性铰链...  微定位器是微机械系统精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性铰链结构则是微定位器的核心部件。利用有限元分析软件ANSYS,对两种常见铰链进行了分析,研究了其几何参数对结构的刚度、运动方向精度的影响;证明了在微动范围内,柔性铰链结构的刚度不随输出点的线位移的大小变化而变化,是常数,且刚度与结构的运动方向精度不成简单的线性关系。在此基础上,提出一种改进型柔性铰链结构,各项性能指标得到了改善。 展开更多
关键词 定位器 柔性铰链结构 有限元法 机械系统
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用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜
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作者 张鸿海 曹伟 +1 位作者 师汉民 陈日曜 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期381-381,共1页
用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜张鸿海,曹伟,师汉民,陈日曜(华中理工大学)扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测,同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构,即用于纳米级的制造技术。尽管纳米制造可用成... 用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜张鸿海,曹伟,师汉民,陈日曜(华中理工大学)扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测,同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构,即用于纳米级的制造技术。尽管纳米制造可用成像的SPM来实现,但二者的设计要求... 展开更多
关键词 纳米制造 定位器 扫描探针显 行走机构 纳米级 高定向石墨 位移分辨率 表面成像 制造技术 华中理工大学
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