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无阿贝误差计量型原子力显微镜
被引量：
8
1
作者
赵克功
H.J.Buechner
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第2期87-89,共3页
中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2～ 3nm。所以 ,...
中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2～ 3nm。所以 ,在其测量空间范围内 ,两点间的测量不确定度为 :U =5nm +2× 10 - 4L(L为两点间的距离 )。本文报导 1999年以来在原基础上所作的改进 ,消除了 3个坐标方向上的阿贝误差 ,将测量不确定度提高到 :U =2nm +1× 10 - 4L。
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关键词
计量型原子力显微镜
阿贝误差
微型
光纤
传
导平面
激光
干涉仪
测量不确定度
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职称材料
题名
无阿贝误差计量型原子力显微镜
被引量：
8
1
作者
赵克功
H.J.Buechner
机构
中国计量科学研究院
伊尔门脑技术大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第2期87-89,共3页
基金
国家自然科学基金 (5 0 0 5 113 0 90 5 )
文摘
中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2～ 3nm。所以 ,在其测量空间范围内 ,两点间的测量不确定度为 :U =5nm +2× 10 - 4L(L为两点间的距离 )。本文报导 1999年以来在原基础上所作的改进 ,消除了 3个坐标方向上的阿贝误差 ,将测量不确定度提高到 :U =2nm +1× 10 - 4L。
关键词
计量型原子力显微镜
阿贝误差
微型
光纤
传
导平面
激光
干涉仪
测量不确定度
Keywords
Metrological atomic force microscope
Abbe offset
Miniature laser inteferometer with plan mirrors and optical fibre transforming laser beam
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
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作者
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被引量
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1
无阿贝误差计量型原子力显微镜
赵克功
H.J.Buechner
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002
8
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