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题名宏/微双重驱动技术的研究和应用现状
被引量：8
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作者
陈洪涛
程光明
肖献强
于保军
杨志刚
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机构
吉林大学机械科学与工程学院
合肥工业大学机械与汽车学院
长春工业大学机电学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2007年第1期153-155,共3页
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基金
国家"863"资助(编号:2002AA421350)
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文摘
宏/微双重驱动技术因具备大行程、快速响应、高精度定位等特点,近年来在微操作领域得到了广泛的应用。总结了目前常用的宏/微双驱动的宏、微定位部件,并分析了它们各自的优缺点及使用范围;并介绍了常见的宏/微双重驱动系统的集成方式,以及国内外这方面研究取得的成果。为即将从事这方面研究的人员提供了很好的参考。
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关键词
宏
微双重驱动
微操作
宏动定位
微动定位
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Keywords
Macro/Micro dual-drive
Micro-manipulation
Macro-positioning
Micro- positioning
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分类号
TP242
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名变刚度微定位平台控制策略的鲁棒性研究
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作者
蔡炳彧
卢旭锦
陈超然
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机构
汕头职业技术学院
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出处
《机械工程与自动化》
2024年第6期50-52,共3页
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基金
广东省教育厅“机电一体化技术”广东省高水平专业群建设项目(GSPZYQ2020030)
汕头职业技术学院2022年校级科研重点课题(SZK2022Z02)
汕头职业技术学院横向科研项目(SZ2023-KY-016)。
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文摘
柔性微动平台大多数采用柔性铰链作为导向机构,在实际工况下,微动平台除了系统未知扰动外,柔性铰链本身由于频繁的拉伸变形,使得微动平台的刚度难免发生改变,由此导致控制系统的被控对象数学模型发生变化,影响系统控制精度与性能。为进一步提高柔性微动平台的鲁棒性,设计了自抗扰控制算法,通过ESO(扩张状态观测器)进行估计补偿。最后在变刚度工况下,进行PID和自抗扰控制策略的仿真对比。相比PID,自抗扰控制具有强鲁棒性,刚度变化对微动平台控制性能几乎没有影响,并且在最优控制下定位精度提高了一个分辨率,整定时间缩短了75.9%。
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关键词
变刚度
微动定位平台
自抗扰控制
鲁棒性
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Keywords
variable stiffness
micro positioning stage
ADRC
robustness
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分类号
TP273.3
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名压电微动平台的精密运动控制
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作者
于保军
司苏美
林洁琼
靖贤
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机构
长春工业大学机电工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第A02期40-42,46,共4页
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基金
国家基金项目(51375060)
大型科学仪器共享共用-精密车床辅助切削关键技术的研究(20140622008JC)
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文摘
宏微复合精密定位平台主要应用于微电子制造以实现高速、高精度、大行程定位。压电微动定位平台主要表现出滞后非线性,是实现精密运动控制的巨大障碍。主要针对双光子聚合加工系统中压电微动平台定位精度较低以及会产生抖动等问题进行分析,采用一种新颖的使用具有不确定性和干扰估计的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方案,该方案可以实现压电微动定位平台的精确运动控制。并对所辨识的模型采用Matlab的Simulink模块进行仿真,其仿真结果证实了所提出控制方案的优越性,验证了模型的有效性。此外,也验证了存在模型干扰和外部干扰的情况下该控制器具有良好的鲁棒性和自适应能力。报告的RBF网络自适应鲁棒滑模控制方法也可以扩展到其他类型系统的鲁棒控制中。
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关键词
迟滞非线性
精密运动控制
不确定性和干扰估计
RBF网络自适应鲁棒滑模控制
压电纳米微动定位平台
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Keywords
Hysteresis Honlinearity
Precision Motion Control
Uncertainty and Interference Estimation
RBF Netw-ork Adaptive Robust Sliding Mode Control
Piezoelectric Nano-Micro-Motion Positioning Platform
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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