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RF MEMS电感的研究与进展 被引量：1
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作者 王彦丰 廖小平 黄庆安 《电子器件》 CAS 2004年第2期354-359,323,共7页
无线通信的迅速发展 ,对高性能电感有迫切的需要。本文介绍了目前电感的发展状况 ,包括表面螺旋电感、垂直平面螺旋电感、悬浮螺旋电感和螺线管电感。对各种电感的性能进行了比较 ,讨论了电感设计所需考虑的问题及相关因素 ,对各种电感... 无线通信的迅速发展 ,对高性能电感有迫切的需要。本文介绍了目前电感的发展状况 ,包括表面螺旋电感、垂直平面螺旋电感、悬浮螺旋电感和螺线管电感。对各种电感的性能进行了比较 ,讨论了电感设计所需考虑的问题及相关因素 ,对各种电感的加工工艺作了介绍。总结了各种电感的品种因数。 展开更多
关键词 微加工电感 邻近效应 趋肤效应
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