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超精密仪器工程关键技术研究若干进展 被引量：6
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作者 谭久彬 李东升 《中国计量学院学报》 2003年第2期83-88,共6页
　介绍超精密仪器工程研究中的几个最近研究进展:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代... 　介绍超精密仪器工程研究中的几个最近研究进展:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代表了目前超精密仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键。 展开更多
关键词 超精密仪器工程 微小内尺度测量 三维轮廓测量 微力接触式测量 振动扫描式测量 伺服移焦技术 准原子力显微镜 共焦显微镜 三维激光测量 超精密回转基准技术 超精密直线基准技术 微驱动技术
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