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压电驱动微位移灵敏度的影响因素分析
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作者 王晓凤 冯之敬 《航空精密制造技术》 2007年第4期24-27,共4页
从内在因素(迟滞和蠕变效应)和外在因素(环境、控制电源、预紧力、导向机构等)两大方面系统的总结了压电驱动微位移灵敏度的影响因素,并针对每种因素给出了相应的实验结果或调研数据,提出了提高分辨率可采取的措施。
关键词 压电驱动 微位移灵敏度 迟滞 蠕变
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