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TK—65型特种油扩散泵
1
作者
龚汩清
林曼印
尹秋琴
《微细加工技术》
1993年第1期61-67,共7页
本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
关键词
彩
象
显象管
排气
油扩散泵
下载PDF
职称材料
题名
TK—65型特种油扩散泵
1
作者
龚汩清
林曼印
尹秋琴
机构
电子部第四十八研究所
出处
《微细加工技术》
1993年第1期61-67,共7页
文摘
本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
关键词
彩
象
显象管
排气
油扩散泵
Keywords
diffusion pump
structrue
pumping speed
分类号
TN141.320 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TK—65型特种油扩散泵
龚汩清
林曼印
尹秋琴
《微细加工技术》
1993
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