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弹性悬臂微梁谐振系统挤压膜阻尼新解析模型 被引量：4
1
作者 李普 胡如夫 尹垚 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期1-4,25,共5页
正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型。但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系。从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新... 正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型。但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系。从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼解析计算模型,导出了解析形式的等效阻尼系数和等效刚度系数。这两个系数完全由梁和挤压膜气体的物理性质决定。最后,通过与Vignola实验结果、Darling模型计算结果、AN-SYS/FLOTRAN计算结果相比表明,所提出模型的计算精度有较明显的提高。 展开更多
关键词 挤压膜 弹性悬臂微梁 MEMS
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考虑直流偏置电压影响的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼新模型 被引量：2
2
作者 李普 方玉明 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期123-127,共5页
正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义。提出了一个新的、考虑直流偏置电压引起静态变形的挤压膜阻尼模型。运用雷诺方程和弹性梁方程的耦合,将挤压膜间隙中的二维压力函数表示为长度方向的一维抛物线函数... 正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义。提出了一个新的、考虑直流偏置电压引起静态变形的挤压膜阻尼模型。运用雷诺方程和弹性梁方程的耦合,将挤压膜间隙中的二维压力函数表示为长度方向的一维抛物线函数与宽度方向的一维余弦函数之积。由于模型考虑了直流偏置电压引起的静态变形的影响,有更广的应用范围。与实验结果的对比表明,模型有足够的精度。 展开更多
关键词 挤压膜阻尼 弹性悬臂微梁 MEMS
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