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温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响 被引量:1
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作者 缪强 崔彩娥 +3 位作者 潘俊德 张平则 段良辉 刘亚萍 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2036-2040,共5页
采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光潜(GDS)分析了涂层的成分和微观结构。结果表明,随着控制温度的升高,... 采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光潜(GDS)分析了涂层的成分和微观结构。结果表明,随着控制温度的升高,膜层厚度呈缓慢增加的趋势,但温度过高或过低结合力明显下降,以160~180℃最佳。180℃时的硬度HK0.01最高,达14630MPa。 展开更多
关键词 AZ91D镁合金 TIN薄膜 等离子沉积 结合力 硬度
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