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温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响
被引量:
1
1
作者
缪强
崔彩娥
+3 位作者
潘俊德
张平则
段良辉
刘亚萍
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2036-2040,共5页
采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光潜(GDS)分析了涂层的成分和微观结构。结果表明,随着控制温度的升高,...
采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光潜(GDS)分析了涂层的成分和微观结构。结果表明,随着控制温度的升高,膜层厚度呈缓慢增加的趋势,但温度过高或过低结合力明显下降,以160~180℃最佳。180℃时的硬度HK0.01最高,达14630MPa。
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关键词
AZ91D镁合金
TIN薄膜
弧
辉
等离子
沉积
结合力
硬度
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职称材料
题名
温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响
被引量:
1
1
作者
缪强
崔彩娥
潘俊德
张平则
段良辉
刘亚萍
机构
太原理工大学
南京航空航天大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2036-2040,共5页
基金
山西省自然科学基金(20041065)
文摘
采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光潜(GDS)分析了涂层的成分和微观结构。结果表明,随着控制温度的升高,膜层厚度呈缓慢增加的趋势,但温度过高或过低结合力明显下降,以160~180℃最佳。180℃时的硬度HK0.01最高,达14630MPa。
关键词
AZ91D镁合金
TIN薄膜
弧
辉
等离子
沉积
结合力
硬度
Keywords
AZ91D alloy
TiN film
arc-glow plasma depositing
adhesion strength
hardness
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响
缪强
崔彩娥
潘俊德
张平则
段良辉
刘亚萍
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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