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题名弧形光源镜头式光幕灵敏度分布研究
被引量：13
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作者
倪晋平
赵静远
高芬
刘璐
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期295-299,共5页
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基金
国家自然科学基金项目资助(60972005)
西安工业大学科研创新团队建设计划资助
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文摘
针对室内大靶面光幕测试需求,对一种镜头式光幕探测灵敏度进行了分析,探测光幕由弧形光源配接天幕靶组成。介绍了镜头式光幕测试系统的构成,分析了扇面光幕的工作机理,给出了相应的灵敏度计算公式,根据镜头成像和扇面光幕形成原理,研究了光源放置距离R以及镜头物距l对镜头式光幕探测灵敏度的影响,并通过实验进行了验证。研究结果表明:文中所提的镜头式光幕能够正常工作,研究结果对进一步工程化设计提供了参考。
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关键词
弧形光源
天幕靶
灵敏度
光幕
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Keywords
arc light
sky screen
sensitivity
light screen
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分类号
TN15
[电子电信—物理电子学]
TP206
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名点光源实现圆弧形光源的研究
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作者
葛工
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机构
电子工业部第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
1997年第3期19-23,共5页
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文摘
简要介绍点光源形成圆弧形光源的方法、实验过程及方案的改进，定性地分析了点光变弧形光的光照均匀性。同时介绍用于１∶１反射扫描光刻机的弧形光源结构。
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关键词
反射扫描光刻机
点光源
圆弧形光源
光刻
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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