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减少底部抗反射涂层(BARC)的缺陷:对优化与分离过滤过程和打胶过程的研究
1
作者
朴勇男
张晨阳
+1 位作者
邢栗
李庆斌
《中小企业管理与科技》
2021年第12期194-196,共3页
半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。这种做法对气体来说是相当容易的,但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(BARC),过滤器可能会出现...
半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。这种做法对气体来说是相当容易的,但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(BARC),过滤器可能会出现堵塞、过滤速率下降的问题,进而导致通过过滤器的压降增加,或者过滤器退化。论文采用三种不同的底部抗反射涂层,基于泵中的不同粒径的过滤介质,并分别采用不同的速率,研究打胶过程和过滤过程的相互作用。
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关键词
底部
抗
反射
涂层
(
barc
)
缺陷
过滤器
打胶
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题名
减少底部抗反射涂层(BARC)的缺陷:对优化与分离过滤过程和打胶过程的研究
1
作者
朴勇男
张晨阳
邢栗
李庆斌
机构
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
出处
《中小企业管理与科技》
2021年第12期194-196,共3页
文摘
半导体器件制造业是当今世界上最清洁的制造业之一。在当今最先进的晶圆厂当中,所有的物质都被过滤到最小的粒径。这种做法对气体来说是相当容易的,但是过滤液体时相对较难,特别是光化学物质,如底部抗反射涂层(BARC),过滤器可能会出现堵塞、过滤速率下降的问题,进而导致通过过滤器的压降增加,或者过滤器退化。论文采用三种不同的底部抗反射涂层,基于泵中的不同粒径的过滤介质,并分别采用不同的速率,研究打胶过程和过滤过程的相互作用。
关键词
底部
抗
反射
涂层
(
barc
)
缺陷
过滤器
打胶
Keywords
bottom anti-reflective coatings(
barc
)
defects
filter
gluing
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
减少底部抗反射涂层(BARC)的缺陷:对优化与分离过滤过程和打胶过程的研究
朴勇男
张晨阳
邢栗
李庆斌
《中小企业管理与科技》
2021
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