题名 传感器贴片及制作工艺浅议
1
出处
《铁道工程学报》
EI
1995年第4期130-,135,共2页
文摘
传感器贴片及制作工艺浅议应变式测力传感器在岩土工程的测试中占有特殊地位。它主要用于测试集聚的拉力、压力及扭力。制作传感器时，贴片工艺是关键所在，它直接关系到测试结果的可靠性。因此必须保证其中各个环节的质量，其主要环节如下：１定位划线定位划线是保证应变...
关键词
应变 片制作工艺 弹性体 弹性元件 生产传感器 贴片工艺 应变 栅 金属材料 固化处理 应变 式测力传感器
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 复合梯形公式下的力传感器灵敏度理论计算研究
2
作者
胡斌 贾会星 谭邦俊
机构
滁州职业技术学院汽车工程系
出处
《兰州工业学院学报》
2019年第2期65-68,共4页
基金
安徽省教育厅科研基金项目(KJ2018A0836)
文摘
针对灵敏度在传感器标定过程中时间长且效率不高的问题,提出了一种力传感器灵敏度理论计算方法,首先运用WorkBench软件对一维力应变式传感器进行力学分析,得到应力、位移云图,再结合应变片中应变栅的尺寸、全桥差动电路,选取传感器4处贴片位置输出坐标数据,最后利用复合梯形公式对4组数据进行处理,得到理论灵敏度.结果表明:得到的理论计算灵敏度与该传感器标定灵敏度相差0.1 6 mv/V,误差为5%.表明利用复合梯形公式处理之后的数据进行灵敏度计算是可行的,可减少力传感器的研发周期.
关键词
灵敏度 复合梯形公式 应变 栅 全桥差动电路
Keywords
sensitivity compound trapezoidal formula strain grid full bridge differential circuit
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 MIM结构薄膜应变栅的实验研究
3
作者
于映 陈跃
机构
福州大学电子科学与应用物理系
出处
《福州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
1998年第2期15-17,共3页
文摘
运用薄膜沉积技术，制作了ＭＩＭ（金属－介质－金属）结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺。
关键词
MIM结构 薄膜 应变 栅
Keywords
MIM structure thin film strain gauge
分类号
O484.1
[理学—固体物理]
题名 应变栅结构参数对合金薄膜传感器应变传递的影响
被引量：1
4
作者
王昕宇 武文革 李学瑞
机构
中北大学机械工程学院
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2019年第9期83-87,共5页
基金
国家自然科学基金(51875533) 山西省自然科学基金(201701D121079)资助
文摘
应变栅作为薄膜传感器的关键组成部分,其结构参数直接影响着合金薄膜传感器中应变传递效果。基于剪滞理论研究了应变栅的结构参数对应变传递误差的影响;并推导了合金薄膜应变片的应变传递函数。采用有限元软件模拟仿真了薄膜电阻应变片应变栅栅厚在0.001~0.02 mm、栅长在2~5 mm以及栅宽在0.1~0.4 mm范围内对应变传递的影响;并对上述分析的结果进行了实验验证。结果表明:在选定的范围内,应变栅厚度越小、纵栅长度越长、纵栅宽度越窄,应变传递误差越小;各结构参数对应变传递的影响程度为:栅宽>栅长>栅厚;当栅厚为0.001 mm、栅长为3 mm、栅宽为0.1 mm时,应变传递误差最小为3.4%。
关键词
薄膜传感器 应变 栅 结构应变 传递有限元
Keywords
thin film sensor strain grid structure strain transfer finite element
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 MIM结构薄膜应变栅的工艺研究
被引量：1
5
作者
于映 陈跃
机构
福州大学电子科学与应用物理系
出处
《电子工艺技术》
2000年第5期222-224,共3页
基金
福建省自然科学基金资助项目!(E9810 0 0 4)
文摘
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法 ,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法 ,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试。
关键词
MIM结构 薄膜应变 栅 直接沉积法 传感器
Keywords
MIM structure Film strain grid Directly depositing
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 基于弹性膜片的薄膜溅射式拉力传感器研究
被引量：1
6
作者
高阳 李永红 岳凤英 孙玉环 刘期兵 魏坦勇
机构
中北大学仪器与电子学院 山西科泰微技术有限公司 中北大学计算机与控制学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1785-1788,共4页
基金
山西省青年基金(2012021013-6)
文摘
介绍了一种基于弹性膜片结构的拉力传感器,敏感元件薄膜电阻应变栅采用离子束溅射、光刻技术与弹性体结合成一体。文中给出了传感器的基本结构及零点补偿和信号转接电路,介绍了薄膜电桥的制备过程,并对弹性体进行了仿真与分析。实验结果显示,该传感器在满量程范围内能满足设计要求,其额定载荷为850 N,灵敏度优于0.013 77 m V/N。且其安全过载系数约为6.62,为同类拉力传感器的2~3倍。对传感器的标定表明,该传感器的综合误差不大于额定输出的0.013%。
关键词
弹性膜片 拉力传感器 薄膜电阻应变 栅 弹性体
Keywords
elastic diaphragm tension sensor thin film resistive of strain gate elastomer
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 薄膜应变栅称重传感器的研制
7
作者
于映 陈跃 陈抗生
机构
福州大学电子科学与应用物理系 浙江大学信息与电子工程系
出处
《测控技术》
CSCD
1998年第5期45-46,共2页
文摘
运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。
关键词
薄膜应变 栅 称重 传感器 滞后 蠕变
Keywords
thin-film strain-gauge, weighing sensor, hysteresis,creep
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH715.103
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
题名 MIM结构力敏薄膜应变栅的高温稳定性
8
作者
于映 陈跃 林吉申
机构
福州大学电子科学与应用物理系
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2000年第5期3-4,共2页
基金
福建省自然科学基金资助项目!(E981 0 0 4 )
文摘
运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属 -绝缘层 -金属 (MIM)结构的薄膜应变栅 ,测试了应变栅在 2 0 0～ 30 0℃的高温区内的稳定性 ,并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响。
关键词
薄膜应变 栅 MIM结构 稳定性 力敏薄膜
Keywords
metal-insulator-metal structure thin film stab ility high temperature
分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
题名 应变片栅长对混凝土表面静态应变测量结果的影响分析
被引量：7
9
作者
郭弦 于飞 鲁辉
机构
西北核技术研究所 [
出处
《电子测量技术》
2010年第1期89-91,共3页
文摘
针对混凝土表面应变测量设计了一组实验,选用3种不同栅长的应变片进行静态应变测量,分析了应变片栅长对测量结果的影响。对于混凝土这种材质不均匀且强度不等的材料,采用大栅长应变片测量其表面较大范围内的平均应变,能够更好的反映混凝土表面应变情况。
关键词
应变 片栅 长混凝土 表面应变 测量
Keywords
gauge length concrete exterior strain measure
分类号
TM930
[电气工程—电力电子与电力传动]
题名 静态电阻应变测量中若干技术问题的讨论
被引量：2
10
作者
刘兰
机构
湖南工程学院机械电子工程系
出处
《装备维修技术》
2004年第1期24-26,共3页
文摘
从理论方面讨论、分析了在静态应力应变测量中影响测量准确性的几个电测技术问题,包括应变计栅长选择、应变片粘贴方向、应变计横向效应、长导线影响及其修正。
关键词
静态电阻应变 测量 应变 计栅 长选择应变 计横向效应
分类号
TH82
[机械工程—仪器科学与技术]
