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题名并行共焦测量中的并行光源技术综述
被引量：10
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作者
余卿
余晓芬
崔长彩
叶瑞芳
范伟
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机构
华侨大学机电及自动化学院
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2013年第5期652-659,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.50775063)
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(No.NCET-10-0116)
华侨大学高层次人才科研启动费资助项目(No.12BS109)
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文摘
并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量,从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理,综述了用于并行共焦的并行光源技术,分析了这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果,重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件(DMD)产生并行光源的新方法。分析和研究了DMD的空间光调制机理,最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统。
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关键词
共焦显微镜
并行光源
并行共焦测量
三维形貌术
微透镜阵列
数字微镜器件
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Keywords
confocal microscopy
parallel light source
parallel confocal measurement
3-D topography
micro-lens array
Digital Micro-lens Device （DMD）
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分类号
TH742.9
[机械工程—光学工程]
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题名数字微镜器件用于并行共焦显微探测的研究
被引量：3
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作者
余晓芬
余卿
刘文文
王永红
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期58-62,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50775063)
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文摘
数字微镜器件(DMD)可以对反射后的光线进行分束,再经过透镜聚光后,能够形成点光源阵列,其中点的大小、间距都可以很方便地控制。相较于传统的微光学器件,DMD具有不可比拟的柔性,而且成本很低。利用DMD构建的数字并行光源可以用于并行共焦显微探测,实验搭建了一条适应于目前测量环境的光路,对比了周期不等的点光源阵列后,得到了在同时满足DMD和CCD的像素要求的前提下,阵列周期越小越能提高测量纵向分辨力的结论。
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关键词
数字微镜器件
点光源阵列
数字并行光源
并行共焦显微
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Keywords
DMD
point light source array
digital parallel light source
parallel confocal microscopy
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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