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曲折型微机电正交磁通门传感器有限元仿真分析
被引量:
6
1
作者
闫丽丽
支绍韬
+3 位作者
郭磊
冯竹
雷冲
周勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期67-70,共4页
正交磁通门传感器具有磁场测量范围广,对测量环境要求低等优点,被广泛应用于导航、金属探测和勘探领域。传统正交磁通门传感器灵敏度较低,限制了其应用领域的进一步拓展。一种新型的多匝曲折型磁芯结构微型正交磁通门传感器在本文中被提...
正交磁通门传感器具有磁场测量范围广,对测量环境要求低等优点,被广泛应用于导航、金属探测和勘探领域。传统正交磁通门传感器灵敏度较低,限制了其应用领域的进一步拓展。一种新型的多匝曲折型磁芯结构微型正交磁通门传感器在本文中被提出,利用三维电磁场有限元仿真软件对器件性能进行了仿真分析。通过研究不同磁芯匝数对微型正交磁通门传感器性能的影响,仿真结果发现,随着磁芯匝数增加,传感器灵敏度提高,磁场响应线性范围明显增大。
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关键词
微机电系统
平面
曲折
型
磁通
门
传感器
有限元分析
正交
磁通
门
传感器
弱磁检测
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职称材料
题名
曲折型微机电正交磁通门传感器有限元仿真分析
被引量:
6
1
作者
闫丽丽
支绍韬
郭磊
冯竹
雷冲
周勇
机构
上海交通大学
电子信息与电气工程学院微纳电子学系
薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期67-70,共4页
基金
中国国家自然科学基金项目(61273065)
国家科技支撑计划项目(2012BAK08B05)
+4 种基金
上海交通大学Agri-X基金项目(AgriX2015005)
上海交通大学航天先进技术联合研究中心技术创新项目(USCAST2015-2)
上海交通大学分析测试中心项目
上海交通大学先进电子材料与器件平台项目
航天支撑技术基金项目(15GFZ-JJ02-05)
文摘
正交磁通门传感器具有磁场测量范围广,对测量环境要求低等优点,被广泛应用于导航、金属探测和勘探领域。传统正交磁通门传感器灵敏度较低,限制了其应用领域的进一步拓展。一种新型的多匝曲折型磁芯结构微型正交磁通门传感器在本文中被提出,利用三维电磁场有限元仿真软件对器件性能进行了仿真分析。通过研究不同磁芯匝数对微型正交磁通门传感器性能的影响,仿真结果发现,随着磁芯匝数增加,传感器灵敏度提高,磁场响应线性范围明显增大。
关键词
微机电系统
平面
曲折
型
磁通
门
传感器
有限元分析
正交
磁通
门
传感器
弱磁检测
Keywords
MEMS
planar meandering fluxgate sensor
finite element simulation
orthogonal fluxgate sensor
weak magnetic field detection
分类号
TN409 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
曲折型微机电正交磁通门传感器有限元仿真分析
闫丽丽
支绍韬
郭磊
冯竹
雷冲
周勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
6
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