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采用离子注入工艺制造平面型LED 被引量：1
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作者 刘洪楷 《光机电信息》 2000年第4期21-22,共2页
美国“注入科学公司(Implant ScienceCorp.)的研究人员展示了一种氮化镓(GaN)发光二极管(LED).这种LED是采用离子注入形成掺杂半导体层区的一种新工艺来制造的.采用这种工艺可以制造发蓝光的LEDs,进而还可用来制造激光二极管.这种器件... 美国“注入科学公司(Implant ScienceCorp.)的研究人员展示了一种氮化镓(GaN)发光二极管(LED).这种LED是采用离子注入形成掺杂半导体层区的一种新工艺来制造的.采用这种工艺可以制造发蓝光的LEDs,进而还可用来制造激光二极管.这种器件整体上具有平面型的结构,很适合于倒装式的凸点连接技术,可提高器件的可靠性和总体产额,即增加光输出. 展开更多
关键词 发光二极管 离子注入 平面型led
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