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基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析 被引量：7
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作者 宋伟红 伍凡 +1 位作者 侯溪 杨鹏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3229-3234,共6页
基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面... 基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息。详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析。仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.300 0×10-12 nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.164 1×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求。 展开更多
关键词 光学检测 平移旋转法 球面绝对检测 高精度面形检测
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一种测量非球面光学零件面形的新方法 被引量：4
2
作者 张晓青 祝连庆 董明利 《工具技术》 北大核心 2001年第4期24-27,共4页
根据激光扫描平移加旋转法的测量原理 ,推导出了非球面光学零件面形测量的数学模型 ;对一个非球面反射镜进行了实测并对测量结果进行插值运算 ,进而拟合出零件面形的曲线方程。
关键词 面形测量 非球面光学零件 激光扫描测量 平移加旋转法 插值 曲线拟合
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