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InGaAsP／InP异质结构材料X射线衍射摇摆曲线中的干涉指纹研究
1
作者 丁国庆 魏铭鉴 +1 位作者 孙文华 崔光杰 《光通信研究》 1995年第2期30-34,共5页
双晶衍射摇摆曲线的全面分析需用计算机模拟高木方程才能得到，其信息广但不直观。本文讨论了ＭＯＣＶＤ外延片Ｘ射线衍射中的干涉指纹，指出了用干涉指纹测试薄膜厚度的精确性，讨论了干涉指纹出现的一些特征，使能直观地得到一些外延... 双晶衍射摇摆曲线的全面分析需用计算机模拟高木方程才能得到，其信息广但不直观。本文讨论了ＭＯＣＶＤ外延片Ｘ射线衍射中的干涉指纹，指出了用干涉指纹测试薄膜厚度的精确性，讨论了干涉指纹出现的一些特征，使能直观地得到一些外延片的结构信息，为识别和正确使用干涉指纹估算薄层厚度提供依据。 展开更多
关键词 摇摆曲线 干涉指纹 化合物半导体 X射线衍射
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InGaAsP／InP异质外延材料X射线衍射摇摆曲线中的干涉指纹
2
作者 丁国庆 孙文华 +1 位作者 魏铭鉴 崔光杰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期61-63,66,共4页
讨论了ＭＯＣＶＤ外延膜Ｘ射线衍射摇摆曲线中干涉指纹的各种特征。指出了由干涉指纹测定薄膜厚度的精确性。研究了影响干涉指纹的因素，为正确识辨材料结构和改进生长工艺提供方便。
关键词 异质外延材料 摇摆曲线 干涉指纹 化合物半导体
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光学薄膜参数、测试及设备
3
《中国光学》 EI CAS 1996年第2期79-80,共2页
O484.5 96021260 InGaAsP/InP异质结构材料X射线衍射摇摆曲线中的干涉指纹研究=The interference fringes of X-ray diffraction rocking curves from In-GaAsP/InPheteroepitaxy materials[刊,中]/丁国庆(武汉电信器件公司.湖北,武汉(4... O484.5 96021260 InGaAsP/InP异质结构材料X射线衍射摇摆曲线中的干涉指纹研究=The interference fringes of X-ray diffraction rocking curves from In-GaAsP/InPheteroepitaxy materials[刊,中]/丁国庆(武汉电信器件公司.湖北,武汉(430074)),魏铭鉴,孙文华(武汉工业大学。湖北,武汉(430070)),崔光杰(武汉纺织工学院。湖北,武汉(430074))∥光通信研究。—1995。(2)。 展开更多
关键词 干涉指纹 异质结构材料 武汉 摇摆曲线 光通信 三次非线性极化率 类金刚石薄膜 测试 射线衍射 光学薄膜
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