SPIE-Vol.3777 01165331999年SPIE会议录,Vol.3777:带电粒子光学,4=1999 proceedings of SPIE,Vol.3777:charged particleoptics Ⅳ[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—1999.—276P.(EC)本会议录收集了于...SPIE-Vol.3777 01165331999年SPIE会议录,Vol.3777:带电粒子光学,4=1999 proceedings of SPIE,Vol.3777:charged particleoptics Ⅳ[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—1999.—276P.(EC)本会议录收集了于1999年7月22～23日在科罗拉多州Denver召开的带电粒子光学会议上发表的26篇论文,内容涉及电子束光刻,场准确度与分辨率评价,电子源与电子辐射,象差分析与优化,成象,离子光学,空间电荷与离散库仑互作用,能量滤波器,分析器与曲线轴系统。0116534采用光折变全息干涉计量术对光楔特性的测量[刊]/范云正//半导体光电.—2001,22(1).—69～72(C)光折变晶体是一种新型的记录材料,应用光折变效应,不需显影、定影等处理,就可实现实时观测。展开更多
第4届国际带电粒子光学会议(4th International Conference on Charged Particle Optics)于1994年10月3日至6日在日本筑波科学城召开。会议汇集了带电粒了光学理论与计算软件、加速器与束流传输、电子显微镜与分析器、电子束管与象管、...第4届国际带电粒子光学会议(4th International Conference on Charged Particle Optics)于1994年10月3日至6日在日本筑波科学城召开。会议汇集了带电粒了光学理论与计算软件、加速器与束流传输、电子显微镜与分析器、电子束管与象管、电子束曝光与集成电路电子束检测和质谱与同位素分离等领域的各国学者,进行了广泛学术交流活动。下面略作介绍。展开更多
本书是德国Springer丛书《光学科学》的第142卷。丛书的主编是美国佐治亚技术学院（Georgia Institute of Technology）的W．T．Rhodes教授。本书是著者罗斯教授在德国达姆施塔特技术大学（Technische Universitot Darmstadt）多年教学...本书是德国Springer丛书《光学科学》的第142卷。丛书的主编是美国佐治亚技术学院（Georgia Institute of Technology）的W．T．Rhodes教授。本书是著者罗斯教授在德国达姆施塔特技术大学（Technische Universitot Darmstadt）多年教学的基础上写成的，也融入了他近年在劳伦斯-伯克利国家实验室（Lawrence Berkeley National Laboratory）讲授带电粒子光学课的内容。像差、曲轴系统以及像差校正方面的大部分内容来自著者本人几十年来的研究结果。展开更多
文摘SPIE-Vol.3777 01165331999年SPIE会议录,Vol.3777:带电粒子光学,4=1999 proceedings of SPIE,Vol.3777:charged particleoptics Ⅳ[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—1999.—276P.(EC)本会议录收集了于1999年7月22～23日在科罗拉多州Denver召开的带电粒子光学会议上发表的26篇论文,内容涉及电子束光刻,场准确度与分辨率评价,电子源与电子辐射,象差分析与优化,成象,离子光学,空间电荷与离散库仑互作用,能量滤波器,分析器与曲线轴系统。0116534采用光折变全息干涉计量术对光楔特性的测量[刊]/范云正//半导体光电.—2001,22(1).—69～72(C)光折变晶体是一种新型的记录材料,应用光折变效应,不需显影、定影等处理,就可实现实时观测。
文摘第4届国际带电粒子光学会议(4th International Conference on Charged Particle Optics)于1994年10月3日至6日在日本筑波科学城召开。会议汇集了带电粒了光学理论与计算软件、加速器与束流传输、电子显微镜与分析器、电子束管与象管、电子束曝光与集成电路电子束检测和质谱与同位素分离等领域的各国学者,进行了广泛学术交流活动。下面略作介绍。
文摘本书是德国Springer丛书《光学科学》的第142卷。丛书的主编是美国佐治亚技术学院（Georgia Institute of Technology）的W．T．Rhodes教授。本书是著者罗斯教授在德国达姆施塔特技术大学（Technische Universitot Darmstadt）多年教学的基础上写成的，也融入了他近年在劳伦斯-伯克利国家实验室（Lawrence Berkeley National Laboratory）讲授带电粒子光学课的内容。像差、曲轴系统以及像差校正方面的大部分内容来自著者本人几十年来的研究结果。
