静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术 被引量：9

1

作者 韩丰田 吴秋平 董景新 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第1期72-76,共5页

静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位... 静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较。 展开更多

关键词 静电悬浮 差动电容传感器 微位移检测 惯性仪表

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CAV424倾角传感器的检测系统设计 被引量：7

2

作者 曹卫锋 张梅 文方 《单片机与嵌入式系统应用》 2005年第7期44-46,共3页

在实验的基础上,提出一种设计差动电容传感器调理电路的新方法,引入AMG公司开发的将电容信号转换成电压信号的集成电路CAV424,以及CAV424在倾角传感器中的应用。另外,结合实例给出系统各部分的详细硬件原理图。

关键词 倾角传感器 系统设计 差动电容传感器 检测 硬件原理图 调理电路 集成电路 电压信号 信号转换

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转子悬浮式微静电电机的检测电路设计 被引量：8

3

作者 陈喆 韩丰田 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第7期73-77,共5页

静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动,然后借助于悬浮控... 静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动,然后借助于悬浮控制系统来实现转子的五自由度有源静电悬浮。文中介绍了基于公共激励电极方案的微位移检测电路,并进行了设计仿真和实验测试。仿真分析和实验测试表明,设计的电容式位移检测电路可用于MEMS微静电悬浮电机的悬浮控制系统。 展开更多

关键词 微位移检测 静电悬浮电机 差动电容传感器 微机电系统

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杨氏模量实验的改进 被引量：5

4

作者 方兴 《大学物理实验》 2007年第4期53-58,共6页

杨氏模量测定实验的关键是对钢丝微小伸长量的测量,利用差动电容传感器将微小伸长量变换为电量,研究得出,微小伸长量与电路输出的电压成线性关系,利用模拟实验,测出理论计算与实验数据之间符合的非常好,这种测量方法还可以利用计算机对... 杨氏模量测定实验的关键是对钢丝微小伸长量的测量,利用差动电容传感器将微小伸长量变换为电量,研究得出,微小伸长量与电路输出的电压成线性关系,利用模拟实验,测出理论计算与实验数据之间符合的非常好,这种测量方法还可以利用计算机对数据进行处理。 展开更多

关键词 杨氏模量 差动电容传感器 实验

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利用电容式传感器测量液位的研究 被引量：4

5

作者 赵静 颜德田 《计量技术》 2006年第6期15-17,共3页

采用差动电容差压传感器测量液体的压力,利用液体的压力公式计算液位,设计了一种便携式低功耗液位仪。该仪器可以实现液位信号的采集和运算,同时还配有温度检测系统,通过软件编程对液位进行温度补偿,同时计算出液位值,最后结果由LCD显示。

关键词 差动电容传感器 液位测量 温度补偿 单片机

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基于FPGA的电容检测系统分析与设计 被引量：3

6

作者 张春熹 魏渊 张晞 《电测与仪表》 北大核心 2012年第12期17-21,共5页

差动电容传感器凭借多项优势广泛应用于工业生产的信号检测中。针对差动电容传感器,分析和设计了一种基于FPGA的检测系统方案。通过对整体系统方案以及各组成部分的详细分析,同时借助实验室中的设备,经过不断地调试和实验,最终设计得出... 差动电容传感器凭借多项优势广泛应用于工业生产的信号检测中。针对差动电容传感器,分析和设计了一种基于FPGA的检测系统方案。通过对整体系统方案以及各组成部分的详细分析,同时借助实验室中的设备,经过不断地调试和实验,最终设计得出以数字电路为主的差动电容检测系统。最后,利用自制的试验样机,通过实验以及MATLAB仿真验证了该系统的可行性和准确性。 展开更多

关键词 差动电容传感器 FPGA 数字电路 检测系统

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分辨率为0.001mm/m的智能电子水平仪的研制 被引量：1

7

作者 张玉华 王安敏 王成江 《电子产品世界》 2003年第02A期34-36,共3页

提出了分辨率为0.001mm/m的智能电子水平仪的设计方案,并研制成成品。

关键词 分辨率 智能电子水平仪 数字滤波 小角度测量 差动电容传感器

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差动电容传感器信号调理中的非线性校正 被引量：2

8

作者 袁有臣 于祥洲 田洪贞 《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2012年第3期321-324,共4页

针对差动电容传感器非线性的对称性,设计了对称性的非线性补偿电路。利用开关二极管的实际特性,使折线式补偿函数尽可能与实际非线性特性的反函数逼近,达到了近于理想的补偿效果。实验结果表明,对于最大非线性误差为25%的差动电容传感器... 针对差动电容传感器非线性的对称性,设计了对称性的非线性补偿电路。利用开关二极管的实际特性,使折线式补偿函数尽可能与实际非线性特性的反函数逼近,达到了近于理想的补偿效果。实验结果表明,对于最大非线性误差为25%的差动电容传感器,经非线性补偿后的非线性误差下降到约0.6%,验证了非线性补偿环节的优良性能。 展开更多

关键词 差动电容传感器 信号调理 非线性校正 折线函数

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基于差动电容传感器的微动定位系统设计 被引量：1

9

作者 范贤光 阙靖 +3 位作者 王昕 许英杰 吴腾达 陈军 《测控技术》 CSCD 2017年第12期106-109,共4页

设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作为位移反馈,实现闭环控制,从而有效克服了压电陶瓷执行器件的... 设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作为位移反馈,实现闭环控制,从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原理,并对系统进行了测试和标定实验。实验结果显示:该平台能够实现15μm的扫描,精度约为15 nm,且动态性能良好。 展开更多

关键词 差动电容传感器 压电陶瓷 纳米定位

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影响涡街流量计测量准确度的几个因素 被引量：1

10

作者 陈进鸿 石尔 《广东化工》 CAS 2009年第11期132-133,154,共3页

涡街流量计是生产中测量流量的重要工具之一。文章简述了涡街流量计的测量原理、基本结构,详细分析了影响涡街流量计测量准确度的选型、安装、温度压力补偿、旋涡发生体迎流面堆积、配管内径与流量计内径不一致等因素,并提出了解决影响... 涡街流量计是生产中测量流量的重要工具之一。文章简述了涡街流量计的测量原理、基本结构,详细分析了影响涡街流量计测量准确度的选型、安装、温度压力补偿、旋涡发生体迎流面堆积、配管内径与流量计内径不一致等因素,并提出了解决影响测量精度的具体方案。 展开更多

关键词 涡街流量计 差动电容传感器 流量测量 准确度

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差动电容传感器测量球形转子偏移的研究 被引量：1

11

作者 汤继强 孙枫 何忠平 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2004年第S4期294-297,301,共5页

文中分析了差动电容传感器的基本特性和在典型的信号转换电路下的输出电压与电极电容变化量的关系的基础上,推导并分析了球形正八面电极的电容变化量与陀螺转子微位移之间的相互关系,指出用球面电极来测试陀螺转子的微位移偏移量是可行... 文中分析了差动电容传感器的基本特性和在典型的信号转换电路下的输出电压与电极电容变化量的关系的基础上,推导并分析了球形正八面电极的电容变化量与陀螺转子微位移之间的相互关系,指出用球面电极来测试陀螺转子的微位移偏移量是可行的并给出了球形转子偏移位移的正八电极测试方案。 展开更多

关键词 差动电容传感器 球形正八面电极 微位移偏移

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天体望远镜中的纳米定位技术研究

12

作者 李建文 郑义忠 《新技术新工艺》 北大核心 2001年第3期16-18,共3页

介绍电容式传感器在大型天体望远镜光学镜面面形控制中的方法和原理。该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8m的六角形子镜拼接而成，应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理分析，阐... 介绍电容式传感器在大型天体望远镜光学镜面面形控制中的方法和原理。该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8m的六角形子镜拼接而成，应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理分析，阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施，并针对国内正在研制的LAMOST超大型天体望远镜实际应用环境和技术指标要求，提出新型涂敷式差动传感器，采用新材料和高集成度的新器件，以满足传感器在温、湿度变化大的条件下实时监测的要求。 展开更多

关键词 天体望远镜 差动电容传感器 纳米定位 促动器

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利用差动电容传感器精确测量压强差的研究

13

作者 胡忠臣 张茂青 +1 位作者 鲍禹 戴晓兰 《自动化信息》 2008年第1期49-50,共2页

介绍了一种利用差动电容传感器测量压强差的方法，利用其等效结构图，具体分析了该方法的工作原理，并给出了测量电路，指出测量时存在的问题和解决方法。通过实验证明，该测量方法具有测量精度高、测量范围大和环境适应性好等特点。

关键词 差动电容传感器 测量 压强差

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一种差动电容传感器转换电路的设计与仿真

14

作者 朱伟 《电子世界》 2019年第9期140-142,共3页

设计一种差动电容式位移测量传感器转换电路,主要对差动电容的检测模型以及差动容量检测电路进行仿真研究。转换电路设计主要包括正弦信号发生电路,二极管环形检波电桥,差分放大电路,二阶有源低通滤波电路和缓冲零点调整电路。最后,利用... 设计一种差动电容式位移测量传感器转换电路,主要对差动电容的检测模型以及差动容量检测电路进行仿真研究。转换电路设计主要包括正弦信号发生电路,二极管环形检波电桥,差分放大电路,二阶有源低通滤波电路和缓冲零点调整电路。最后,利用Multisim14软件对设计的电路进行了仿真,并对实验数据进行了分析。最终结果证明设计电路仿真可行,数据可靠,测量范围内具有良好的线性度。 展开更多

关键词 差动电容传感器 转换电路 电路仿真 设计 Multisim14 测量传感器 信号发生电路 差分放大电路

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基于差动电容传感器和89C51单片机的电子水平仪

15

作者 封维忠 杨丽 +1 位作者 吕开亮 陈维 《物理实验》 北大核心 2009年第12期17-19,22,共4页

针对原有的气泡式水平仪功能存在的不足进行了改进,改进后的仪器采用了变介质差动电容传感器,设计了电容传感器变换电路,将传感器电容的变化转换为信号频率的变化,用89C51单片机对信号进行处理和显示.实验结果表明,该方法制作的电子水... 针对原有的气泡式水平仪功能存在的不足进行了改进,改进后的仪器采用了变介质差动电容传感器,设计了电容传感器变换电路,将传感器电容的变化转换为信号频率的变化,用89C51单片机对信号进行处理和显示.实验结果表明,该方法制作的电子水平仪系统性能稳定,测量精度可达到0.01 mm/m. 展开更多

关键词 水平仪 差动电容传感器 89C51单片机

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基于ARDUINO控制器的高速电镀线传输钢带振动与变形检测系统

16

作者 石巍 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期546-550,共5页

介绍了一种基于Arduino控制器的位移检测系统的设计。通过差动电容式位移传感器获得电镀生产线传送钢带的位移数据,由Arduino控制器判断处理后,经nRF2401无线模块发送到监控终端,实现了对集成电路产品电镀传送钢带运行过程中的振动与变... 介绍了一种基于Arduino控制器的位移检测系统的设计。通过差动电容式位移传感器获得电镀生产线传送钢带的位移数据,由Arduino控制器判断处理后,经nRF2401无线模块发送到监控终端,实现了对集成电路产品电镀传送钢带运行过程中的振动与变形状况的实时监测。 展开更多

关键词 电镀 传输钢带 位移 监测 单片机 差动电容传感器 无线收发器

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差动电容传感器信号处理电路

17

作者 王立新 郑宏军 《电脑与电子》 2000年第5期29-30,28,共3页

介绍了两种不同结构的高精度差动电容传感器信号处理电路，并对其进行了性能分析。

关键词 差动电容传感器 信号处理 A/D传换

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差动电容传感器直接数字变换方法与实现

18

作者 余学锋 于杰 刘辉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第6期4-7,共4页

为了使差动电容传感器与数字仪器间建立数据连接,设计了新型直接数字变换器。变换器采用双斜式变换原理,可实现差动电容传感器差与和之比值的数字输出,给出了原理性电路及测试结果。分析表明:寄生电容、开关泄漏电流和比较器偏置电压等... 为了使差动电容传感器与数字仪器间建立数据连接,设计了新型直接数字变换器。变换器采用双斜式变换原理,可实现差动电容传感器差与和之比值的数字输出,给出了原理性电路及测试结果。分析表明:寄生电容、开关泄漏电流和比较器偏置电压等因素对变换过程的影响可以忽略。新型变换技术所获得的高精度和良好的线性只取决于参考电压源而与传感器变换过程参数无关。试验结果显示,对于标称值为10 pF的差动电容传感器,在整个测量范围内,最大线性误差小于0.05%。 展开更多

关键词 差动电容传感器 直接数字变换 双斜式技术 分析

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基于PLC控制的防疫空气净化隔离建筑电气控制系统 被引量：2

19

作者 陈铁钢 高岳民 王少华 《时代农机》 2018年第11期175-179,共5页

本设计采用三菱FX2N系列可编程逻辑控制器来作为系统的控制核心。在隔离间负压控制过程中门窗开闭造成的气压变化、环境气压变化对病员间气流走向的影响、隔离间和病员间气压的调节起着重大作用,因此监测这一类环境因子变化是要考虑传... 本设计采用三菱FX2N系列可编程逻辑控制器来作为系统的控制核心。在隔离间负压控制过程中门窗开闭造成的气压变化、环境气压变化对病员间气流走向的影响、隔离间和病员间气压的调节起着重大作用,因此监测这一类环境因子变化是要考虑传感器的精度与反应速度,传感把从环境和隔离间监测的压力结果送入控制器,压力采集选用体积小巧的膜片式差动电容传感器,对气压变化的反应灵敏,应用A/D转换电路或多位比较器将电容传感器输出的模拟量转换为数字量或开关量,由PLC将结果与事先设定好的值进行比较,再依据不同的压力采样信号发出不同命令控制继电器动作,驱动百叶窗风阀的闪变、变频器的变频、风机电动机的变速等做出相应动作来调节风压风量,使隔离间相对于公共过道和病员间气压总是负值,两边的气流通过隔离间注入消毒间处理后排向大气,实现病员间与过道之间的空气防疫隔离。将PLC与计算机连接利用组态MCGS可以实现控制过程的远程监控。 展开更多

关键词 变频控制 百叶窗闪变 负压隔离 PLC 膜片差动电容传感器

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用于电容传感器的脉宽调制电路 被引量：2

20

作者 周国华 习友宝 古天祥 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第6期4-5,24,共3页

设计了一种脉宽调制电路,用于小位移测量。电路以自制的差动电容传感器为基础,由7555定时器、滤波器等电路组成,将微小的位移变化量转化为直流电压,且与位移量基本成线性关系,能实现精度为±0.1 mm的位移测量。电路结构简单、调试... 设计了一种脉宽调制电路,用于小位移测量。电路以自制的差动电容传感器为基础,由7555定时器、滤波器等电路组成,将微小的位移变化量转化为直流电压,且与位移量基本成线性关系,能实现精度为±0.1 mm的位移测量。电路结构简单、调试方便、成本低,具有很好的稳定性和抗干扰性。实践表明:位移测量的最小二乘线性度为0.33%,灵敏度为0.065 V/mm. 展开更多

关键词 脉宽调制 自制差动电容传感器 位移测量

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