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题名基于版图和工艺的MEMS器件三维结构生成算法
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作者
邓伟
李伟华
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1344-1347,1353,共5页
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基金
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
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文摘
设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二维版图文件预处理,加载器件工艺流程后,程序实现相关参数选择后并存储.给定了工艺步骤的搭配关系,进行工艺解释后,进行三维实体绘制输出.编程实现的可执行文件可对多种MEMS器件进行正确的三维描述,从而验证了该三维生成的方法.
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关键词
MEMS器件
三维结构
工艺流程
工艺解释
算法
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Keywords
MEMS device
three-dimensional structure
process flow
process explanation
algorithm
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN403
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题名油水井找漏测井工艺及资料解释方法研究与应用
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作者
鱼海银
强文明
等
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机构
中原石油勘探局采油二厂测试大队
中原油田测井公司
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出处
《测井与射孔》
2002年第2期38-40,52,共4页
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文摘
濮城油田具有高温、高压、高盐、层薄即“三高一薄”的特点，经过二十多年的开发已进入高含水、高采出程度、高采油速度的“三高”开发后期，由于许多油水井套管因特理、化学因素导致变形、错断、穿孔等导致井况恶化，严重制约了各种增产增注措施的正常实施，降低了有效采收率，所以应对这些油水井进行有效治理。为了寻求一种针对性强、工简单、施工简便的油水井找漏方法，针对该油田的实际情况，我们进行了大量的研究和实验，终于摸索出了一套科学、实用的密闭带压测井方法和工艺。
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关键词
油水井
找漏
测井工艺资料解释方法
研究
应用
漏失
增产增注
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分类号
TE358
[石油与天然气工程—油气田开发工程]
TE357.8
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