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微机电系统集成设计方法与实现技术
被引量：
11
1
作者
常洪龙
苑伟政
马炳和
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期916-920,共5页
针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术 ,并在此基...
针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术 ,并在此基础上构建微机电系统集成设计平台 ;所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行 ,同时平台所具有的系统级。
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关键词
微机电系统
集成设计
设计平台
系统
级
器件
级
工艺
级
下载PDF
职称材料
MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术
2
作者
谢志雄
苑伟政
+2 位作者
常洪龙
徐景辉
谢建兵
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期624-627,共4页
研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级模型文件,实现了MEMS工艺级到系统级的...
研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级模型文件,实现了MEMS工艺级到系统级的数据传递,使用C++编程语言开发了相应的转换接口。通过典型器件——微加速度计和微变形镜的多种结构验证了转换方法的可行性。
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关键词
MEMS
CAD
工艺
级
系统
级
抽取
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职称材料
纳米级BiCMOS双极架构的可制造性设计
3
作者
刘岩
侯志刚
李惠军
《微纳电子技术》
CAS
2007年第1期11-14,42,共5页
基于对小尺寸双极性器件特性的理论分析,对合理实现BiCMOS的架构模式进行了深入研究,完成了TSUPREM-Ⅳ与MEDICI接口的TCAD可制造性设计流程,实现了BiCMOS环境下集成化小尺寸器件管芯制程的全流程虚拟制造。器件基区宽度小于100nm,器件...
基于对小尺寸双极性器件特性的理论分析,对合理实现BiCMOS的架构模式进行了深入研究,完成了TSUPREM-Ⅳ与MEDICI接口的TCAD可制造性设计流程,实现了BiCMOS环境下集成化小尺寸器件管芯制程的全流程虚拟制造。器件基区宽度小于100nm,器件特性理想。
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关键词
双极性器件
工艺
级
设计
可制造性设计
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职称材料
论卷烟加工过程中质量管理与工艺参数分级及精细化控制
被引量：
1
4
作者
唐小雪
《企业科技与发展》
2012年第9期15-16,22,共3页
运用工序质量评价的方法,对卷烟加工过程各工序进行质量评价,根据工序对产品质量或后工序的影响程度,确定一般工序与重要工序,并建立相应的质量管理与控制方法。根据不同工艺参数对产品主要质量特性的影响程度进行系统分级,并进行精细...
运用工序质量评价的方法,对卷烟加工过程各工序进行质量评价,根据工序对产品质量或后工序的影响程度,确定一般工序与重要工序,并建立相应的质量管理与控制方法。根据不同工艺参数对产品主要质量特性的影响程度进行系统分级,并进行精细化管理与控制,以提高卷烟物理质量、卷烟感官质量、烟气理化指标的稳定性。
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关键词
卷烟加工
质量管理
工艺
参数分
级
精细化控制
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职称材料
题名
微机电系统集成设计方法与实现技术
被引量：
11
1
作者
常洪龙
苑伟政
马炳和
机构
西北工业大学机电学院
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期916-920,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 3 75 12 5 /5 0 2 0 5 0 2 2 )
国家 863高技术研究发展计划资助项目 ( 2 0 0 3AA40 40 17)
文摘
针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题 ,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法 ,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层 ;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术 ,并在此基础上构建微机电系统集成设计平台 ;所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行 ,同时平台所具有的系统级。
关键词
微机电系统
集成设计
设计平台
系统
级
器件
级
工艺
级
Keywords
MEMS
integrated design platform
system level
device level
process level
分类号
TH-39 [机械工程]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术
2
作者
谢志雄
苑伟政
常洪龙
徐景辉
谢建兵
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期624-627,共4页
基金
863计划资助项目(2006AA04Z306)
文摘
研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级模型文件,实现了MEMS工艺级到系统级的数据传递,使用C++编程语言开发了相应的转换接口。通过典型器件——微加速度计和微变形镜的多种结构验证了转换方法的可行性。
关键词
MEMS
CAD
工艺
级
系统
级
抽取
Keywords
MEMS CAD
process-level
system-level
layout extraction
分类号
TH166 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
纳米级BiCMOS双极架构的可制造性设计
3
作者
刘岩
侯志刚
李惠军
机构
山东大学孟尧微电子研发中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第1期11-14,42,共5页
文摘
基于对小尺寸双极性器件特性的理论分析,对合理实现BiCMOS的架构模式进行了深入研究,完成了TSUPREM-Ⅳ与MEDICI接口的TCAD可制造性设计流程,实现了BiCMOS环境下集成化小尺寸器件管芯制程的全流程虚拟制造。器件基区宽度小于100nm,器件特性理想。
关键词
双极性器件
工艺
级
设计
可制造性设计
Keywords
bipolar device
process-level design
design for manufacturability
分类号
TN433 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
论卷烟加工过程中质量管理与工艺参数分级及精细化控制
被引量：
1
4
作者
唐小雪
机构
广西中烟工业有限责任公司
出处
《企业科技与发展》
2012年第9期15-16,22,共3页
文摘
运用工序质量评价的方法,对卷烟加工过程各工序进行质量评价,根据工序对产品质量或后工序的影响程度,确定一般工序与重要工序,并建立相应的质量管理与控制方法。根据不同工艺参数对产品主要质量特性的影响程度进行系统分级,并进行精细化管理与控制,以提高卷烟物理质量、卷烟感官质量、烟气理化指标的稳定性。
关键词
卷烟加工
质量管理
工艺
参数分
级
精细化控制
Keywords
cigarette process
quality management
process parameters grading
fine control
分类号
F224 [经济管理—国民经济]
F407.8
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电系统集成设计方法与实现技术
常洪龙
苑伟政
马炳和
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
11
下载PDF
职称材料
2
MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术
谢志雄
苑伟政
常洪龙
徐景辉
谢建兵
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
下载PDF
职称材料
3
纳米级BiCMOS双极架构的可制造性设计
刘岩
侯志刚
李惠军
《微纳电子技术》
CAS
2007
0
下载PDF
职称材料
4
论卷烟加工过程中质量管理与工艺参数分级及精细化控制
唐小雪
《企业科技与发展》
2012
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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